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凈化潔凈室空氣的方法山東潔凈凈化工程

潔凈工作臺方法
半導體工業(yè)采用了許多這些技術。然而，一個主要問題是，當從一個小型加工廠擴展到一個擁有更多工人的大型車間時，很難保持其固有的清潔度。早期的半導體工業(yè)發(fā)展了將天花板三明治和墻壁過濾成干凈的工作臺方法。這主要是將過濾器安裝在一個工作臺上，并使用不會脫落的物質(zhì)。在工作臺外面，晶片在密封盒中儲存和運輸。
工作臺（稱為工作蓋）按順序排列在大型車間中，形成一個加工區(qū)域，使晶片能夠qianqian2018通過工藝順序而不會暴露在空氣中。清潔工作罩中的過濾器是高效的顆粒收集過濾器（HEPA過濾器）。這些過濾器由脆性纖維和許多小孔組成，并由手風琴葉折疊。由于小孔的高密度和過濾層的大面積，大量空氣以低速流動。由于低速空氣避免了空氣流動，因此有助于工作臺的清潔，并且操作員也必須在舒適的環(huán)境中工作。典型的空氣流量6為每分鐘90至100英寸。 HEPA過濾器的過濾效率高達99.99？r，可用于三種凈化方法。
2.隧道/車間概念
隨著更嚴格的顆?？刂谱兊帽匾?，潔凈工作臺會產(chǎn)生一些缺點。這主要是由于車間許多工人的流動造成的污染。進入車間的工人可能會被所有過程的工作站污染。
將加工廠劃分為不同的隧道可以解決人員污染問題。過濾器現(xiàn)在安裝在商店的天花板上，而不是安裝在單獨的工作臺上，但它也做同樣的事情。通過天花板中的過濾器流入的空氣可以保持清潔，并且可以減少人員產(chǎn)生的污染，因為工作臺周圍的工作人員減少了。然而，該方法的缺點是構造昂貴并且不適合于工藝變化。

3.完成潔凈室方法
潔凈室設計和過濾技術的發(fā)展使我們能夠回到開放式加工區(qū)域的建設。在最先進的設計中，空氣過濾包括天花板中的HEPA過濾器，并從地板回收空氣以保持連續(xù)的清潔空氣。流。桌子的頂部有通孔，允許無阻礙的空氣流過。