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INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型復(fù)合真空計將兩種真空計的功能融合到一個緊湊的裝置中，測量范圍從
5×10^-10 毫巴至大氣壓（3.8×10^-10 托至大氣壓）。 多項技術(shù)相結(jié)合降低了安裝、設(shè)置和集成的復(fù)雜性。
選擇BPG400真空計，價格經(jīng)濟(jì)，且可重復(fù)測量基準(zhǔn)壓力。

• 測量范圍非常廣，從 5×10^-10 毫巴至大氣壓（3.8×10^-10 托至大氣壓）
• 10^-8 … 10^-2 毫巴過程壓力范圍內(nèi) 5% 的優(yōu)良可重復(fù)性
• 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)貝阿德-阿爾珀特系統(tǒng)在高壓操作下單絲過早燒毀和過度污染
• 使用壽命長的氧化釔銥絲
• 備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口
• 高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié)，減少操作員干預(yù)
• RoHS 合規(guī)
• 低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

• 對半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測量
• 工業(yè)鍍膜
• 低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

零件號

BPG400
零件號	明細(xì)
353-500	BPG400 規(guī)管
353-500-11	BPG400 BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-500-I0	BPG400規(guī)管
353-502-A	BPG400規(guī)管
354-498	Spare electronic BPG400 without Display
354-499	Spare electronic BPG400 with Display
353-501	BPG400 規(guī)管
353-502	BPG400 規(guī)管
353-503	BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-505	復(fù)合真空規(guī)
353-506	BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-507	BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-508	BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R