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7134_ADT切割機/Dicing（多角度）

7134多角度切割機擁有 4" 高功率空氣軸承主軸，30krpm時MAX 2.5KW。直流無刷電機，閉環(huán)速度控制。覆蓋MAX 12" 的圓形產(chǎn)品、12" x 9" 方形基板帶框架或 12" x 12" 卡盤（不帶框架）。
系統(tǒng)配有閉環(huán)轉(zhuǎn)向臺，針對多角度切割進(jìn)行優(yōu)化，適用各種產(chǎn)品，例如：
·陶瓷基板
·氧化鋁
·混合物
·厚膜設(shè)備等

ADT切割機/Dicing 7134系統(tǒng)規(guī)格：
大面積系統(tǒng)配置：MAX300mm x 300mm
刀片尺寸：4"-5"
主軸：空氣軸承，直流無刷，30 krpm/2.5 kW
分度軸（y）
驅(qū)動裝置：滾珠軸承絲桿，配步進(jìn)電機
控制：線性編碼器
分辨率：0.2 μm
累積精度：1.5 μm
分度精度：1.0 μm
傳送軸（X）
氣動滑塊
驅(qū)動裝置：滾珠軸承絲桿，配直流無刷電機
傳送速度：高達(dá) 600 mm/sec
切割深度軸（z）
驅(qū)動裝置：滾珠軸承絲桿，配步進(jìn)電機
分辨率：0.2 μm
精度：2.0 μm
重復(fù)精度：1.0 μm
行程：50 mm
旋轉(zhuǎn)編碼器
Z線性編碼器 - 可選件
Z間隙高達(dá)3" - 可選
旋轉(zhuǎn)軸
驅(qū)動：閉環(huán)、直接驅(qū)動、直流無刷
精度：4 arc-sec
重復(fù)精度：4 arc-sec
行程：350度





了解更多：http://www.hapoin.com/wafer_dicer/ADT_7134.htm



ADT多角度切割機/Dicing 7134相關(guān)產(chǎn)品：
衡鵬供應(yīng)
ADT 8020系列雙軸晶圓切割機
ADT 7220系列單軸晶圓劃片機