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產(chǎn)品簡介
供應(yīng)日本VTEX品牌半導(dǎo)體超高鐘擺閥3PV類型 漏率低精度高
產(chǎn)品價(jià)格：￥7500.00元/件
上架日期：2021-07-30
發(fā)貨地：江蘇 蘇州市
供應(yīng)數(shù)量：不限
最少起訂：1件
瀏覽量：1510
詳細(xì)說明
    詳細(xì)參數(shù)
    品牌日本VTEX型號鐘擺閥3PV
    材質(zhì)不銹鋼閥瓣開啟高度全程
    驅(qū)動方式氣動連接形式法蘭
    壓力環(huán)境類型低壓閥(PN<1.6Mpa)壓力環(huán)境高壓
    工作溫度區(qū)間45℃特殊功能可以調(diào)整電導(dǎo)
    外形尺寸110*34*45流動方向雙向
    介質(zhì)溫度90℃適用介質(zhì)空氣
    流動方向雙向類型(通道位置)直動式
    加工定制否公稱通徑160-550
    適用范圍真空設(shè)備,半導(dǎo)體行業(yè)重量21KG
    產(chǎn)地日本


    IPV，3PV，APC類型
    ·一步到位的精準(zhǔn)動作。
    ·簡單，構(gòu)成組件少，擁有緊湊型節(jié)省空間的設(shè)計(jì)。
    ·標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格擁有50萬次動作的設(shè)計(jì)壽命，高耐久，無需檢修的設(shè)計(jì)。
    ·閥體的密封件一律采用O型圈。為降低成本做出貢獻(xiàn)。
    ·閥體的拆解只需松開1根螺栓即可。
    APC控制盒
    ·搭載可以計(jì)算出腔室容積的LEARN功能。
    ·可實(shí)現(xiàn)高速的正確壓力控制，位置控制。
    ·可同時(shí)連接2臺壓力傳感器。
    ·排氣系列門閥：真空泵－腔室之間的門閥，也有作為控制壓力的閥門使用。
    ·搬運(yùn)系列門閥：作為各作業(yè)（晶片或玻璃基板etc）的出入口，用于空氣－腔室之間的隔斷。
    半導(dǎo)體?液晶屏制造裝置
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    用真空門閥的應(yīng)用案例介紹
    用真空門閥的應(yīng)用案例介紹
    Exhaust System Gate Valve
    （Penduroll Valve）
    ·和APCPenduroll閥配合可以實(shí)現(xiàn)電導(dǎo)系數(shù)到0的控制。


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