| 詳細參數 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 型號 | 齊全 | |
| 輸送介質 | 驅動方式 | 電動泵 | |
| 介質溫度類型 | 常溫泵 | 材質 | 鋁合金 |
| 最大出口壓力類型 | 高壓泵(32MPa≤Pd＜100MPa) | 葉片式泵葉輪級數 | 多級泵 |
| 葉片式泵吸入方式 | 雙吸泵 | 葉片式泵葉輪形式 | 敞開式葉輪 |
| 葉片式泵殼體型式 | 葉片式泵泵軸位置 | 立式泵 | |
| 結構類型 | 羅茨式 | 顏色 | 黑色 白色 其他 |
| 產地 | 日本 | ||
ESR系列（節(jié)能型羅茨泵）是多級干式真空泵，設計用于從清潔到中負荷工藝的各種應用。ESR系列的泵速范圍從35到1,625 CFM，極限壓力低至1 mTorr。
1 x EBARA GENESIS泵522-023
1 x EBARA GENESIS泵522-021
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EBARA 305W渦輪分子泵控制器。
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1 x EBARA GENESIS真空泵522-223
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Ebara AAS20N干式真空泵經過測試工作
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305W /渦輪分子泵控制器＃305W / EB原
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Ebara 50DVSL61.5泵USIP
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EBARA EV-S20P干式真空泵，正常工作
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EBARA AA10，干式泵，真空干式泵，
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EBARA GENESIS真空泵524-421
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bar原干式泵A70W，使用中
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