MP-SeriesMPL240VAC旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī)MPLA330PMK72AA羅克韋爾
潔凈室的氣流速度/換氣次數(shù)，一直是潔凈室設(shè)計(jì)中受到關(guān)注的問(wèn)題，隨著潔凈室污染源的控制效果增加及末級(jí)過(guò)濾器效率的提高等，對(duì)有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等提出的推薦或參考值是否偏于保守，已有不少討論;FFU在應(yīng)用中人們擔(dān)心的噪音、損壞維修等問(wèn)題已在實(shí)踐中得到解決，隨著FFU的不斷改進(jìn)，對(duì)是否采用FFU回風(fēng)系統(tǒng)也是個(gè)熱點(diǎn)：懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC工業(yè)中已日益提到日程上來(lái)，受到關(guān)注。以下對(duì)這些問(wèn)題的情況分別作歸納和分析。
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控制閥選型的原則根據(jù)工藝條件，選擇合適的結(jié)構(gòu)形式和材料。根據(jù)工藝對(duì)象的特點(diǎn)，選擇控制閥的流量特性。根據(jù)工藝操作參數(shù)，選擇合適的控制閥口徑尺寸。根據(jù)工藝過(guò)程的要求，選擇所需要的輔助裝置。合理選擇執(zhí)行機(jī)構(gòu)。執(zhí)行機(jī)構(gòu)的響應(yīng)速度應(yīng)能滿足工藝對(duì)控制行程時(shí)間的要求：所選用的控制閥執(zhí)行機(jī)構(gòu)應(yīng)能滿面足閥門(mén)行程和工藝對(duì)泄露量等級(jí)的要求。在某些場(chǎng)合，如選用壓力控制閥(包括放空閥)，應(yīng)考慮實(shí)際可能的壓差進(jìn)行適當(dāng)?shù)姆糯?，即要求?zhí)行機(jī)構(gòu)能提供較大的作用力。
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