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產(chǎn)品簡介
日本ygkcop表面粒子掃描儀YPI-MN
產(chǎn)品價格：￥1.00元/臺
上架日期：2021-03-01
發(fā)貨地：廣東 深圳市
供應(yīng)數(shù)量：不限
最少起訂：1臺
瀏覽量：765
詳細說明
    詳細參數(shù)
    品牌ygkcop型號YPI-MN
    加工定制否

    日本ygkcop表面粒子掃描儀[YPI-MN]

    YPI-MX-ΘDC 

    YPI-MN緊湊型高性能晶圓表面檢測設(shè)備

    緊湊而高性能的晶圓表面檢測設(shè)備。表面粒子掃描儀。
    新開發(fā)的高性能，節(jié)省空間的類型。
    安裝面積為YPI-200的50％。
    它是一種緊湊的表面檢查
    設(shè)備，可以根據(jù)使用模式進行移動，精度高達0.15μm，同時又節(jié)省了空間。
    作為可選功能，可以為透明基板安裝前/后分離功能（通過消除后表面的影響來執(zhí)行前表面的測量）。
    測量結(jié)果可以通過檢測圖大小，歷史和異物圖像顯示并記錄在附帶的P / C上，并帶有顆粒數(shù)量。 

    設(shè)備規(guī)格

    工作尺寸200 x 200 mm，φ200mm（可提供φ300mm測量* 1）
    最小檢測到的顆粒尺寸（Si PSL裸顆粒）Si晶圓0.152μm
    透明玻璃基板0.3μm（需要可選設(shè)備）
    激光/檢測單元使用405 nm（藍色激光）和光電倍增管（PMT）
    掃描方式XY，螺旋掃描
    工作提供方法手動的
    設(shè)備尺寸（寬x深x高）W548 x D572 x H962（mm）通過P / C
    設(shè)備重量90kg（不含P / C）
    電源AC100V 15A
                       * 1當(dāng)支持φ300mm時，深度尺寸會改變。
     
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