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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
日本ygkcop雙頭SiC表面粒子掃描儀
產(chǎn)品價(jià)格：￥1.00元/臺(tái)
上架日期：2021-03-01
發(fā)貨地：廣東 深圳市
供應(yīng)數(shù)量：不限
最少起訂：1臺(tái)
瀏覽量：763
詳細(xì)說(shuō)明
    詳細(xì)參數(shù)
    品牌ygkcop型號(hào)YPI-MX-,DC
    加工定制否

    日本ygkcop雙頭SiC表面粒子掃描儀

    YPI-MX-ΘDC SiC / GaN相關(guān)，Si /透明/ LT晶片表面異物檢查設(shè)備



     
    SiC / GaN相關(guān)晶圓表面檢測(cè)設(shè)備。
    雙頭SiC表面粒子掃描儀
    新開(kāi)發(fā)的SiC表面顆粒掃描儀可防止未發(fā)現(xiàn)的SiC潛在劃痕。
    采取措施，不漏掉傳統(tǒng)表面顆粒檢查設(shè)備無(wú)法檢測(cè)到的SiC表面潛伏期。
    通過(guò)將雙傳感器安裝在可以檢查透明基板的YPI-MX上，可以進(jìn)行測(cè)量而不會(huì)發(fā)現(xiàn)微小的劃痕缺陷。
    通過(guò)在兩個(gè)正交軸上布置355 nm（UV）激光器和光接收傳感器，可以消除微小劃痕缺陷的方向依賴性，
    并在不忽略SiC襯底的情況下檢測(cè)劃痕缺陷和潛在劃痕。
    在5分鐘內(nèi)測(cè)量4英寸SiC晶片，包括等待時(shí)間檢測(cè)測(cè)量。
     
        
                           設(shè)備中雙傳感器測(cè)量結(jié)果的圖像
     

     

    不僅可以測(cè)量SiC，還可以測(cè)量透明玻璃晶片，硅晶片和LT晶片。
    最小檢測(cè)粒徑為0.1μm。
    LT晶片測(cè)量結(jié)果示例
    如果是4英寸LT晶片，則可以在大約2分鐘內(nèi)進(jìn)行測(cè)量。
     

    關(guān)于大功率激光控制


    配備有YPI-MX-DC的大功率激光輸出通過(guò)我們的控制系統(tǒng)（自動(dòng)功率控制）控制
    為恒定，從而可以實(shí)現(xiàn)更精確的異物檢測(cè)。
     

    設(shè)備規(guī)格

    掃描方式激光側(cè)散射法，雙頭傳感器
    工作安裝手動(dòng)/自動(dòng)輸送機(jī)
    能量消耗AC100V / 200V 30A
    最小檢測(cè)粒徑0.1微米
    重現(xiàn)性σ/ X≦10％
    測(cè)量時(shí)間2分鐘內(nèi)放入4英寸晶圓
    待檢查的基材SiC /各種透明玻璃基板/ Si晶片，LT晶片，具有
    各種膜的晶片等
    設(shè)備外形尺寸W900mm x D1,000mm x H1,757mm（手動(dòng)）
    W1,530mm x D1,200mm x H1,715mm（自動(dòng)傳送帶）
    體重約500公斤（手動(dòng)）/約1000公斤（自動(dòng)傳送帶）
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