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產(chǎn)品簡介

晶圓清洗機(jī)

產(chǎn)品價(jià)格：￥1000000.00元/套

上架日期：2020-12-17

發(fā)貨地：江蘇南通市

供應(yīng)數(shù)量：不限

最少起訂：1套

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詳細(xì)說明

詳細(xì)參數(shù)
品牌	其他	型號(hào)	0003
類型	其他	清洗介質(zhì)	其他
動(dòng)力	其他	槽數(shù)	其他
用途	其他	加工定制	是
外形尺寸	其他

1. 自動(dòng)清洗系統(tǒng) ?? . 自動(dòng)化的晶圓切割后清洗設(shè)備，具有率與多功能的清洗能力，可輕易地清除晶圓表面及切割道內(nèi)所殘留的廢屑。 2. 先進(jìn)的清洗方式 . 提供率的重復(fù)清洗方式，利用二流體的高壓氣加上細(xì)粒水珠，可輕易移除微細(xì)切溝內(nèi)的殘屑，提供**清洗 ???? 效果。清洗后的率吹乾流程，使晶圓表面毫無水分殘留，便利下制程之運(yùn)行。 3. PLC程控操作 ?? . 芯片清洗機(jī)是透過人機(jī)界面以邏輯式微處理器來控制。舉凡：工作盤的轉(zhuǎn)速、二流體噴灑范圍、速度、時(shí)間或是重復(fù)清洗次數(shù)、吹乾次數(shù)等各種不同的操作參數(shù)，都很容易輸入系統(tǒng)，也可從記憶組內(nèi)選出設(shè)置。 4. 特性： ?? . 可程序控制器加中文顯示板 ?? . 可清洗8寸及6寸的芯片，并可依使用者需求提供非標(biāo)準(zhǔn)工作盤 ?? . 內(nèi)建真空產(chǎn)生器與自動(dòng)排水裝置 ?? . 使用二流體嘴加強(qiáng)洗凈效果（可選用高頻超聲波噴嘴. 可選用純氮?dú)馐降那搴蟠登鞒?

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