| 詳細參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | SANYO | 型號 | SR8651 |
| 結(jié)構(gòu)形式 | 其他 | 安裝方式 | 現(xiàn)場安裝 |
| LD指令處理器 | 其他 | 加工定制 | 否 |
廣州市廣科智能技術(shù)有限公司擁有大量二手SANKYO三協(xié)真空機器人，如：三協(xié)真空機器人SR8651、三協(xié)真空機器人SR8652……歡迎全國各地理工機電學院、工廠采購、工業(yè)機器人培訓機構(gòu)來電咨詢詳情，價格優(yōu)惠。
三協(xié)雙臂真空搬運機器人SR8651參數(shù)：
真空度(Pa)：1.33×10-2；
自由度：5-AXIS(all AC-servo controlled)；
動作范圍「RR/RL 軸」(㎜)：2400；
動作范圍「Z 軸」(㎜)：250/450；
可動范圍「θ軸」(deg)：+140～-185；
最大速度「RR/RL軸」(㎜/sec）：3370；
最大速度「Z 軸」(㎜/s)：300；
最大速度「θ軸」(rads/s)：2.09；
最大速度「重復(fù)精度」(㎜)：+/-0.2；
最大速度「噪音」(dB)：80 or less
最大速度「基板尺寸」(㎜)：～1100×1300 t=3.1～5.2/～1300×1500 t=0.5～1.1/～1500×925 t=0.5～1.1
三協(xié)雙臂真空搬運機器人SR8652參數(shù)：
真空度：1.33×10-2；
自由度：5-AXIS(all AC-servo controlled)；
動作范圍「RR/RL 軸」(㎜)：2720；
動作范圍「Z 軸」(㎜)：465(Solar)/670(LCD)；
動作范圍「θ軸」(deg)：+140～-185；
最大速度「RR/RL 軸」(㎜/sec)：2474；
最大速度「Z 軸」(㎜/s)：400；
最大速度「θ軸」(rads/s)：2.09；
最大速度「重復(fù)精度」(㎜)：+/-0.2；
最大速度「噪音」(dB)：80 or less；
最大速度「基板尺寸」(㎜)：1100×1300 t=4～5(Solar)；
最大速度「基板尺寸」(㎜)：～1500×1850 t=0.5～1.1(LCD)
真空機器人是一種能夠在真空環(huán)境下工作的機器人，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體和液晶工業(yè)中，實現(xiàn)晶圓或玻璃基板在真空腔室內(nèi)的運輸。真空搬運機器人由于不使用氣體真空吸附系統(tǒng)和氣缸等，因此搬運時保持晶圓在機器手上的穩(wěn)定比較困難。因此，此前只能以150～200枚/時的速度搬運晶圓。此次，通過改進保持晶圓穩(wěn)定的真空內(nèi)的夾具，即使高速搬運，機器手上的晶圓也不會錯位。這樣，可最大限度發(fā)揮真空機器人的搬運速度。三協(xié)真空機器人可以在10-7 pa的真空環(huán)境下運行。耐溫達200工。此系列真空機器人大部分組件采用不銹鋼或熱膨脹系數(shù)相當?shù)牟⑶页鰵饴实椎牟牧稀?
