| 詳細(xì)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型號(hào) | CSF-25-160-2A-G |
| 類(lèi)型 | 諧波減速器 | 載荷狀態(tài) | 均勻載荷 |
| 傳動(dòng)比級(jí)數(shù) | 單級(jí) | 軸的相對(duì)位置 | 立式加速器 |
| 傳動(dòng)布置形式 | 擺線式 | 加工定制 | 是 |
| 樣品或現(xiàn)貨 | 現(xiàn)貨 | 齒面硬度 | 軟齒面 |
| 布局形式 | 三環(huán)式 | 用途 | 減速機(jī) |
| 輸入轉(zhuǎn)速 | 3000rpm | 額定功率 | 111kw |
| 輸出轉(zhuǎn)速范圍 | 47.6rpm | 許用扭矩 | 22N.m |
| 使用范圍 | 礦產(chǎn) | 減速比 | 43 |
| 產(chǎn)地 | 日本 | ||
曝光后的硅片從曝光系統(tǒng)又回到硅片軌道系統(tǒng)，需要進(jìn)行短時(shí)間的曝光后烘培。其目的是促進(jìn)光刻膠的化學(xué)反應(yīng)，哈默納科精密硅片諧波CSF-25-160-2A-GR或者提高光刻膠的粘附性并減少駐波。在光刻膠的產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)中，生產(chǎn)商會(huì)提供后烘的時(shí)間和溫度。進(jìn)行后烘時(shí)，硅片放在自動(dòng)軌道系統(tǒng)的一個(gè)熱板上，處理的溫度和時(shí)間需要根哈默納科精密硅片諧波CSF-25-160-2A-GR據(jù)光刻膠的類(lèi)型確定。典型后烘的溫度90~130℃，時(shí)間1~2分鐘。
用化學(xué)顯影液溶解由曝光造成的光哈默納科精密硅片諧波CSF-25-160-2A-GR刻膠可溶解區(qū)域就是光刻膠顯影，目的是把掩模版圖形準(zhǔn)確復(fù)制到光刻膠中。顯影的要求重點(diǎn)是產(chǎn)生的關(guān)鍵尺寸達(dá)到規(guī)格要求。
