| 詳細參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型號 | CSF-25-160 |
| 類型 | 圓柱齒輪減速器 | 載荷狀態(tài) | 中等沖擊載荷 |
| 傳動比級數(shù) | 單級 | 軸的相對位置 | 立式加速器 |
| 傳動布置形式 | 擺線式 | 加工定制 | 是 |
| 樣品或現(xiàn)貨 | 現(xiàn)貨 | 齒面硬度 | 軟齒面 |
| 布局形式 | 三環(huán)式 | 用途 | 減速機 |
| 輸入轉(zhuǎn)速 | 3000rpm | 額定功率 | 111kw |
| 輸出轉(zhuǎn)速范圍 | 47.6rpm | 許用扭矩 | 22N.m |
| 使用范圍 | 軍工 | 減速比 | 4554 |
| 產(chǎn)地 | 日本 | ||
曝光過程包括：聚焦、對準、曝光、步進和重復(fù)以上過程。
光學(xué)曝光技術(shù)經(jīng)歷了不同的發(fā)展階段。harmonic光刻機系統(tǒng)諧波CSF-25-160-2A-GR按照掩模版與硅片的位置關(guān)系區(qū)分，從最初的接觸式曝光，發(fā)展到接近式曝光，直到現(xiàn)在的投影式曝光。曝光光源主要使用紫外光、深紫外光、harmonic光刻機系統(tǒng)諧波CSF-25-160-2A-GR極紫外光，現(xiàn)今最常用的是：汞燈和準分子聚光光源。
光刻設(shè)備的發(fā)展和使用經(jīng)歷了五個不同階段，分別是：接觸式光刻機、接近式光刻機、掃描投影光刻機、分步重復(fù)光刻機、步進掃描光刻機。
曝光與對準過程主要由光刻機完成。harmonic光刻機系統(tǒng)諧波CSF-25-160-2A-GR光刻機造價高昂，是非常復(fù)雜的系統(tǒng)，涉及的技術(shù)也非常多。光刻機是芯片生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)備，也是電子制造的核心技術(shù)設(shè)備
