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產(chǎn)品簡介
伯東離子蝕刻機 20IBE-J
產(chǎn)品價格:¥111.00元/臺
上架日期:2020-11-18
發(fā)貨地:上海 浦東新區(qū)
供應(yīng)數(shù)量:不限
最少起訂:1臺
瀏覽量:464
詳細(xì)說明
    詳細(xì)參數(shù)
    品牌Hakuto型號其他
    產(chǎn)品用途刻蝕,清洗

    上海伯東日本原裝進(jìn)口適合大規(guī)模量產(chǎn)使用的 NS 離子蝕刻機 20IBE-J


    伯東 NS 離子蝕刻機主要優(yōu)點:
    1. 干式制程的微細(xì)加工裝置, 使得在薄膜磁頭, 半導(dǎo)體元件, MR sensor 等領(lǐng)域的開發(fā)研究及量產(chǎn)得以廣泛應(yīng)用.
    2. 物理蝕刻的特性, 無論使用什么材料都可以用來加工, 所以各種領(lǐng)域都可以被廣泛應(yīng)用.
    3. 配置使用美國考夫曼離子源
    4. 射頻角度可以任意調(diào)整, 蝕刻可以根據(jù)需要做垂直, 斜面等等加工形狀.
    5. 基板直接加裝在直接冷卻裝置上, 所以可以在低溫環(huán)境下蝕刻.
    6. 配置公轉(zhuǎn)自轉(zhuǎn)傳輸機構(gòu), 使得被蝕刻物可以得到比較均勻平滑的表面.
    7. 機臺設(shè)計使用自動化的操作流程, 所以可以有非常友好的使用生產(chǎn)過程.


    伯東離子蝕刻機 20IBE-J技術(shù)參數(shù)

    離子蝕刻Φ4 inch X 12片

    基片尺寸

    Φ4 inch X 12片
    Φ5 inch X 10片
    Φ6 inch X 8片

    樣品臺

    直接冷卻,水冷

    離子源

    Φ20cm 考夫曼離子源


    伯東離子蝕刻機 IBE 通氬氣 Ar 不同材料的蝕刻速率:
    NS離子蝕刻機

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