| 詳細(xì)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型號 | SHD-14-50-2 |
| 類型 | 諧波減速器 | 載荷狀態(tài) | 強(qiáng)沖擊載荷 |
| 傳動比級數(shù) | 雙級 | 軸的相對位置 | 立式加速器 |
| 傳動布置形式 | 擺線式 | 加工定制 | 是 |
| 樣品或現(xiàn)貨 | 現(xiàn)貨 | 齒面硬度 | 軟齒面 |
| 布局形式 | 擺線式 | 用途 | 變速機(jī) |
| 輸入轉(zhuǎn)速 | 1450rpm | 額定功率 | 360kw |
| 輸出轉(zhuǎn)速范圍 | 50rpm | 許用扭矩 | 691N.m |
| 使用范圍 | 礦產(chǎn) | 減速比 | 60 |
| 產(chǎn)地 | 日本 | ||
離子注入 離子注入是亞微米工藝中最常見的摻雜方法。將要摻入的雜質(zhì)harmonic硅片清洗諧波SHD-14-50-2SH ，如砷 (As)、磷（P）、硼（B）注入離子注入機(jī)，經(jīng)過電離，再由高電壓或磁場控制并加速，harmonic硅片清洗諧波SHD-14-50-2SH高能雜質(zhì)離子穿透涂膠硅片的表面，最后進(jìn)行去膠和清洗硅片完成離子注入。
（5）薄膜生長 薄膜生長工藝用來加工出半導(dǎo)體中的介質(zhì)層、金屬層。薄膜工藝包括化學(xué)氣相淀積（CVD）和金屬濺射（物理氣相淀積，PVD）。薄膜產(chǎn)生后需要使用快速退火裝置（RPT）修復(fù)離子注入引入的襯harmonic硅片清洗諧波SHD-14-50-2SH損傷，以及完成金屬的合金化。最后使用濕法清洗設(shè)備進(jìn)行硅片清洗。
