| 詳細(xì)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | KRI | 型號(hào) | RFICP380 |
| 類型 | 其他 | 清洗介質(zhì) | 其他 |
| 動(dòng)力 | 其他 | 槽數(shù) | 其他 |
| 用途 | 通用 | 加工定制 | 是 |
| 外形尺寸 | 其他 | ||
上海伯東代理美國(guó)考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 離子源, 100%原廠原裝進(jìn)口.
KRI 射頻離子源 RFICP 380 屬于大面積射頻離子源, 離子束流: >1500 mA; 離子動(dòng)能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000.
離子束可聚焦, 平行, 散射.
采用射頻技術(shù)產(chǎn)生離子, 無(wú)需電離燈絲, 工藝時(shí)間更長(zhǎng).
離子源采用模塊化設(shè)計(jì), 方便清潔/ 保養(yǎng)/ 維修/ 安裝.
通入氣體可選 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others.
美國(guó) KRI 射頻離子源 RFICP 380 特性:
1. 大面積射頻離子源
2. 提供高密度離子束, 滿足高工藝需求
3. 采用射頻技術(shù)產(chǎn)生離子, 無(wú)需電離燈絲, 工藝時(shí)間更長(zhǎng), 更適合時(shí)間長(zhǎng)的工藝要求
4. 離子束流: >1500 mA
5. 離子動(dòng)能: 100-1200 V
6. 中和器: LFN 2000
7. 采用自動(dòng)控制器, 一鍵自動(dòng)匹配
8. RF Generator 可根據(jù)工藝自行選擇離子濃度, EX: 1kW or 2kW
9. 離子源采用模塊化設(shè)計(jì), 方便清潔/ 保養(yǎng)/ 維修/ 安裝
10. 柵極材質(zhì)鉬和石墨, 堅(jiān)固耐用
11. 通入氣體可選 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others
伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 380 技術(shù)參數(shù)：
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射頻離子源型號(hào) |
RFICP 380 |
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Discharge 陽(yáng)極 |
射頻 RFICP |
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離子束流 |
>1500 mA |
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離子動(dòng)能 |
100-1200 V |
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柵極直徑 |
30 cm Φ |
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離子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
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流量 |
15-50 sccm |
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通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型壓力 |
< 0.5m Torr |
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長(zhǎng)度 |
39 cm |
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直徑 |
59 cm |
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中和器 |
LFN 2000 |
1. 底座風(fēng)冷風(fēng)扇
2. Grid ((柵級(jí))) 模組
3. RF Coil (射頻銅管)
4. 石英杯
5. LFN 2000 (燈絲) 中和器