主要用途

• 滑動部件（機(jī)械密封、化工泵軸承、軸）
• 粉碎機(jī)部件（分級機(jī)、氣流粉碎機(jī)、砂磨機(jī)）
• 半導(dǎo)體制造設(shè)備部件（XY平臺、MOCVD托盤、聚焦環(huán)、晶圓夾盤）
• 成型機(jī)部件（相機(jī)鏡頭成型機(jī)部件）
• 耐熱部件（燃燒器噴嘴、高溫試驗機(jī)部件、熔融金屬用坩堝）
• 耐磨部件（噴砂機(jī)噴嘴、噴丸機(jī)拋丸機(jī)葉片、埋地管道保護(hù)板、釣具導(dǎo)向環(huán)）

特點

碳化硅是一種黑色陶瓷，和其他的精密陶瓷相比，在高溫環(huán)境（1000℃以上）中機(jī)械強(qiáng)度降低幅度小、耐磨耗性高。
因其強(qiáng)共價鍵，在各種精密陶瓷材料中硬度最高、耐腐蝕性優(yōu)異、在液體中的滑動特性良好。
利用這些特點，使用在機(jī)械密封、化工泵軸承等方面。此外，也可用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的晶圓叉等。

碳化硅

熱膨脹系數(shù)為RT～200℃時的測量數(shù)據(jù)。