| 詳細(xì)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 英思特 | 型號(hào) | 001 |
| 加工定制 | 是 | 用途 | 用于IC制造和LED制造的顯影工序 |
| 外形尺寸 | 定制 | 重量 | 定制 |
| 產(chǎn)地 | 如皋 | ||
1.設(shè)備概況
l? 名稱：顯影清洗臺(tái)
l? 機(jī)臺(tái)尺寸 : 2000mmWx1500mmDx2000mmH
l? 重量：600Kg( 大約)；
l? 工作環(huán)境：室內(nèi)放置；
2.機(jī)臺(tái)臺(tái)面
l? 操作臺(tái)面高度為850mm，適合于身高為1.5m到1.8m人員操作；
3.整機(jī)構(gòu)造
l? 骨架：優(yōu)質(zhì)不銹鋼骨架，外包3mmPP板防腐焊接而成；
l? 外殼：德國(guó)進(jìn)口10mm瓷白PP板熱焊接而成；
l? 防護(hù)門：正面操作側(cè)采用透明上下推拉門；
l? 管路：管路位于機(jī)臺(tái)下后部，以節(jié)省空間，采用英制接口；
l? 排風(fēng)：根據(jù)流體學(xué)原理設(shè)計(jì)位于機(jī)臺(tái)后上部，并配有導(dǎo)流和風(fēng)量調(diào)節(jié)裝置；
l? 工作照明：機(jī)臺(tái)上方配黃光照明（與工作區(qū)隔離）；
l? DI/N2 GUN：可伸縮的N2 Gun和DI水槍個(gè)1把，置于工作區(qū)右側(cè)；
l? 臺(tái)面板為德國(guó)10mm PP板（帶有漏液孔）；
l? 人機(jī)界面：Touch Screen彩色界面；
l? 支腳：有滑輪裝置和固定裝置，可調(diào)整高度和鎖定；
l? 三色燈提示等和蜂鳴器
4.控制系統(tǒng)
l? PLC可程式控制器（歐姆龍）＋Touch Screen 8"彩色人機(jī)界面操作。
l? 制程參數(shù)皆采用可設(shè)定、修改、記憶制程模式；
l? 操作模式可分為自動(dòng)/手動(dòng)/編輯/維修。
l? 配有獨(dú)立配電箱，電路區(qū)進(jìn)行功能分塊，強(qiáng)電、弱電塊，以便于維護(hù)；
l? 具Password功能以避免操作人員誤改參數(shù)：
Password-1.啟動(dòng)及可進(jìn)入自動(dòng)模式內(nèi)容。
Password-2可進(jìn)入編輯模式修改制程參數(shù)。
Password-3可進(jìn)入手動(dòng)模式。
5.安全保護(hù)
l? 設(shè)備采用耐腐蝕導(dǎo)線并通過氟套管進(jìn)行保護(hù)，防腐防水；
l? 設(shè)有防漏電斷路保護(hù)裝置；
l? 電控部分正壓空體保護(hù)，防水防腐；
l? 設(shè)備有可靠的接地裝置及緊急關(guān)機(jī)和提醒系統(tǒng)；
l? EMO 裝置緊急按鈕開關(guān)；
l? 蜂鳴器聲鳴提示工作完成，三色提示燈及蜂鳴聲光故障提示；
l? 機(jī)臺(tái)底部設(shè)有防漏盤及漏液感知；
l? 液位異常感知/安全液位保護(hù)；
l? 加熱保護(hù)；