| 詳細(xì)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 英思特 | 型號(hào) | 001 |
| 類型 | 硅晶圓 | 移動(dòng)方式 | 臺(tái)式 |
| 水溫 | 熱水 | 加工定制 | 是 |
| 驅(qū)動(dòng)方式 | 自動(dòng),半自動(dòng) | 用途 | 硅晶圓片清洗 |
| 外形尺寸 | 定制 | 重量 | 定制 |
| 產(chǎn)地 | 如皋 | ||
1.產(chǎn)品名稱:硅晶片腐蝕清洗機(jī)
2.產(chǎn)品用途:適用于2"~8"硅片腐蝕清洗
3.設(shè)備介紹:本設(shè)備為柜體式腐蝕機(jī),整臺(tái)設(shè)備均采用進(jìn)口件.
基本材質(zhì):箱體材質(zhì):德國茲白色聚丙烯(PP)
門板材質(zhì):德國透明聚氯乙烯(PVC)
腐蝕槽材質(zhì):德國自然色聚偏二佛乙烯(PVDF)清洗槽材質(zhì):德國自然色聚丙烯板(NPP)
腐蝕槽配有美國聚四佛乙烯加熱器,虹吸上排,傳感器
清洗槽配有溢流裝置和N2鼓泡裝置
整機(jī)外形美觀,實(shí)用
4.設(shè)備外形尺寸:2000X1000X1800(mm)
5.設(shè)備重量:8000Kg(約)
6,設(shè)備控制方式: PLC結(jié)合操作觸摸屏控制
7.設(shè)備動(dòng)力條件:電源:380VAC+-10%頻率 50HZ+-10%,三相五線制
整機(jī)額定電功率(參考):20KW
電氣性能:E級(jí),并有良好的接地
水工:壓力2-3KG/CM3,流量2m3/hr 口徑DN25
DIW:壓力2-3KG/CM3 流量2m3/hr(max),電阻率15M 口徑DN25
氣源壓縮空氣:0.3~0.5MPa,口徑3/8"(配有水分離器)排廢:DN50
排廢酸:DN40
排風(fēng):DN200
環(huán)境要求:空氣溫度5-40°C;相對(duì)濕度:80%