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產(chǎn)品簡介
智能型雙溫區(qū)等離子化學氣相沉積系統(tǒng) BTF-1200C-II-AS-500A
產(chǎn)品價格:¥面議元/臺
上架日期:2020-04-26
發(fā)貨地:安徽 合肥市
供應數(shù)量:不限
最少起訂:1臺
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詳細說明
    詳細參數(shù)
    品牌其他型號BTF-1200C-II-AS-500A
    電源其他加工定制
    外形尺寸其他產(chǎn)地安徽合肥

    主要特點

      一、智能型雙溫區(qū)等離子化學氣相沉積系統(tǒng)設備的高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負反饋控制系統(tǒng),控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控溫,電力調(diào)制器控制;負載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命,測溫元件采用 K 型熱偶。30段可編程控溫,PID參數(shù)自整定,操作界面為10寸工控電腦,內(nèi)置PLC控制程序,可將溫控系統(tǒng)、滑軌爐滑動(時間和距離)設定為程序控制。同時系統(tǒng)設置了超溫、 欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求,關(guān)鍵電氣元件采用優(yōu)質(zhì)的進口產(chǎn)品,做到高性能、免維護,提高了設備質(zhì)量的可靠性。

      二、PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學反應,從而實現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)。通過反應氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應特征,從根本上改變了反應體系的能量供給方式,低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點,工藝流程簡單。

        三、配有可加熱到400℃的前端預加熱爐,輔助固態(tài)源蒸發(fā),后端為雙溫區(qū) ,溫度控制精確,操作簡便,對于氣相沉積,二維材料,等離子處理生長工藝非常合適,也同樣適用于要求快速升降溫的CVD實驗。

    技術(shù)參數(shù)

    預熱器參數(shù):

    工作溫度:400℃

    zui高溫度:1100℃

    zui快升溫速率:≤30℃/min

    推薦升溫速率:10℃/min

    控溫方式:智能化30段可編程控制

    工作電壓:AC220V

    額定功率:800W

    控溫精度:±1℃

    加熱元件:電阻絲

    加熱區(qū)參數(shù):

    加熱元件:電阻絲(Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo)
    加熱區(qū)長度:400mm(200+200mm)
    恒溫區(qū)長度: 200mm  (100+100mm)(±1℃)
    工作溫度:1100℃
    zui高溫度:1200℃
    控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能
    控溫精度:±1℃

    zui大升降溫速率:≤30℃/min

    爐管:高純度石英管Φ25\50\60\80\100\150x2000mm  (管徑可選)

    標準配件:石英管1支,莫來石管堵2對,不銹鋼法蘭1套,氟膠密封圈2套,高溫手套1副,坩堝鉤1支;

    尺寸約:2000×600×1500 mm(長、寬、高)

    備注:可選配單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等加熱區(qū)。

    氣路系統(tǒng)參數(shù):

    質(zhì)量流量計參考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm (量程可選)

    準確度:±1.5%

    線性:±0.5~1.5%

    重復精度:±0.2%

    響應時間:氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

    工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa

    zui大壓力:3MPa

    接口:Φ6,1/4''

    顯示:4位數(shù)字顯示

    工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體             

    內(nèi)外雙拋不銹鋼管:Φ6

    壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

    截止閥:Φ6

    連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。

    備注:可選配一路、兩路、三路、四路等以上質(zhì)量流量計。

    低真空系統(tǒng)參數(shù):

    國產(chǎn)油泵型號:BSV-10

    抽速:10m3/h

    極限真空度:5*10-1pa

    電源:220v 50hz

    電機功率:0.4kw  

    進排氣連接口:KF25

    用油量:1.1L

    電機轉(zhuǎn)速:1440rpm

    工作環(huán)境溫度:5-40℃

    噪音:≤56db

    電阻真空計參數(shù):

    1.配用規(guī)管:ZJ-52T電阻規(guī),

    2.測量范圍: 10 5 ~10 -1 Pa,

    3.測量路數(shù): 1路

    4.控制范圍: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

    5.控制方式:繼電器觸點輸出,負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載,

    6.電源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

    7.功耗: 20W

    射頻源主要參數(shù):

    信號頻率:13.56 MHz±0.005%

    功率輸出范圍:0-500W

    zui大反射功率:100W

    射頻輸出接口:50 Ω, N-type, female

    功率穩(wěn)定性:≤5W

    諧波分量:≤-50dbc

    供電電壓:單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ

    整機效率:>=70%

    功率因素:>=90%

    冷卻方式:強制風冷

    備注:可根據(jù)腔體大小選擇射頻源功率。

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