| 詳細(xì)參數(shù) | |||
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| 公司名稱 | 北京天浦正達(dá) | 服務(wù)內(nèi)容 | Melec電源維修 |
| 工作時(shí)間 | 全天 | 設(shè)備所在地 | 北京 |
| 新舊程度 | 其他 | ||
Melec電源維修Melec脈沖發(fā)生器維修Melec脈沖電源維修高壓發(fā)生器
Melec的電源脈沖發(fā)生器可實(shí)現(xiàn)多種用途，憑借現(xiàn)有的直流電源配上Melec的電源脈沖發(fā)生器即可實(shí)現(xiàn)單極脈沖、雙極脈沖、偏壓以及HiPIMS高能脈沖電源等功能。
NiCr靶使用直流及HiPIMS晶體結(jié)構(gòu)對(duì)比
以HiPIMS高能脈沖為例，相較于直流電源，離化率更高，沉積的薄膜附著力更好，從上圖可以看出，直流電源沉積出的為柱狀結(jié)構(gòu)，而HiPIMS電源沉積出的為玻璃狀結(jié)構(gòu)，膜層更致密。
Melec的電源脈沖發(fā)生器主要分為研發(fā)領(lǐng)域使用的SIPP2000系列以及工業(yè)領(lǐng)域使用的SPIK系列，其中SIPP2000系列分為單極和雙極兩種，SPIK系列分為SPIK1000A、SPIK2000A和SPIK3000A三種。SPIK系列涵蓋的功率范圍可從0.5KW到30KW。
Melec推出的SPIK3000A基本性能參數(shù)如下：
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項(xiàng)目 |
規(guī)格參數(shù) |
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直流電源功率輸入 |
10KW,20KW,30KW |
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直流電源電壓輸入 |
1000V |
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直流電源電流輸入 |
50A |
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脈沖輸出電壓 |
1000V |
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脈沖輸出電流 |
1000A(峰值) |
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認(rèn)證 |
CE認(rèn)證 |
Melec電源脈沖發(fā)生器，除了單獨(dú)產(chǎn)生脈沖之外，也可進(jìn)行疊加使用，根據(jù)不同的應(yīng)用以及不同的基材等，進(jìn)行各種不同的疊加。
對(duì)于單靶或者單弧源來說，可以進(jìn)行直流和單極HiPIMS高能脈沖、直流和單極脈沖以及單極脈沖和單極HiPIMS高能脈沖疊加，實(shí)現(xiàn)共濺射的功能。
直流和單極HiPIMS高能脈沖疊加
對(duì)于雙靶來說，可以進(jìn)行更多種的疊加，比如雙極脈沖和雙極HiPIMS高能脈沖、單極脈沖和雙極HiPIMS高能脈沖(Bias偏壓同步)、雙極HiPIMS高能脈沖/雙極脈沖和單極脈沖(Bias偏壓同步)、單極HiPIMS高能脈沖/雙極脈沖和單極脈沖(Bias偏壓同步)、雙極HiPIMS高能脈沖和RF(Bias偏壓同步)以及單極HiPIMS高能脈沖和RF(Bias偏壓同步)疊加等。