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產(chǎn)品簡介
雙爐滑軌PECVD
產(chǎn)品價格:¥1.00元/臺
上架日期:2019-09-23
發(fā)貨地:安徽 合肥市
供應(yīng)數(shù)量:不限
最少起訂:1臺
瀏覽量:611
詳細說明
    詳細參數(shù)
    品牌BEQ型號BTF-1200C-S-SL-PECVD
    加工定制產(chǎn)地其他

    PECVD(等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng))系統(tǒng),有多路質(zhì)量流量計系統(tǒng)(進口流量計),真空機組(進口真空泵),PE射頻電源(進口射頻源),溫控系統(tǒng)等裝置構(gòu)成。使用PE源將氣源等離子化,有利于降低工藝溫度,同時擴大工藝的使用條件,滿足更多的工藝實驗要求,如石墨烯、C納米管等,控制操作系統(tǒng)集成于觸摸屏操作面板上,便于操作與觀察。

    技術(shù)參數(shù):

    雙溫場滑軌爐(BTF-1200C-S-SL)

    主要特點:

    滑軌式快速升溫爐是專為生長石墨烯研制的石墨烯生長專用爐,也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗,這款設(shè)備是根據(jù)開啟式真空管式爐改裝而來的,操作時可將實驗需要的恒定高溫直接推到樣品處,使樣品能得到一個快速的升溫速度,同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處,使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下,得到快速的降溫速率。

    技術(shù)參數(shù):

    額定功率(KW):4

    額定電壓(V):AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

    最高溫度(℃):1200(1 hour)

    持續(xù)工作溫度(℃):1100

    最大升& 降溫速率(℃/S):≤20

    爐管尺寸(mm):高純石英管Φ50×1900(管徑可選)

    加熱區(qū)長度(mm) :230+230

    恒溫區(qū)長度(mm):100+100

    控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制具有超溫和斷偶報警功能

    控溫精度(℃):±1

    認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn):

    密封系統(tǒng):爐管兩端配304不銹鋼水冷密封法蘭(包括精密針閥,指針式真空壓力表,法蘭進氣端配置兩個Φ6mm卡套進氣口。

    凈重(Kg):80

          射頻電源 500W

     

    信號頻率:13.56 MHz±0.005%

    功率輸出范圍:L5W-500W

    最大反射功率:200W

    射頻輸出接口:50 Ω, N-type, female

    功率穩(wěn)定度:±0.1%

    諧波分量:≤-50dbc

    供電電壓:單相交流(187V-253V)

    頻率50/60HZ

    整機效率:>=70%

    功率因素:>=90%

    冷卻方式:強制風(fēng)冷

    供氣系統(tǒng)

    工作電壓:185~245V 50HZ

    最大輸出功率:18W

    流量計標(biāo)準(zhǔn)量程:100sccm,200sccm,200sccm,500sccm(非特殊指定以氮氣標(biāo)定,量程可選)

    工作溫度:5~45℃

    工作壓差:0.1~0.5MPa

    最大壓力:3MPa

    準(zhǔn)確度:±1.5% FS

    測量范圍:-0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid)

    針閥316不銹鋼

    混氣罐Φ80×120mm

    截止閥Φ6mm”316不銹鋼針閥

    尺寸600×600×650 mm

    低真空機組VAU-02

    空氣相對濕度 ≤85%

    工作電電壓220V±10%  50~60HZ

    功率500瓦

    抽氣速率8m3/h

    極限真空4X10-2Pa

    實驗真空度1.0X10-1Pa

    容油量 1.1L

    進氣口口徑KF25

    排氣口口徑KF25

    轉(zhuǎn)速1450rpm

    噪音50dB

    外型尺寸600×600×600mm

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