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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
Edwards愛德華STP-iXA 2206二手磁懸浮分子泵快速維修
產(chǎn)品價(jià)格:¥9999.00元/臺(tái)
上架日期:2025-06-04
發(fā)貨地:廣東 廣州市
供應(yīng)數(shù)量:不限
最少起訂:1臺(tái)
瀏覽量:21
詳細(xì)說(shuō)明
    詳細(xì)參數(shù)
    品牌Edwards型號(hào)STP-iXA2206
    輸送介質(zhì)水泵驅(qū)動(dòng)方式電動(dòng)泵
    介質(zhì)溫度類型高溫泵材質(zhì)不銹鋼
    最大出口壓力類型咨詢葉片式泵葉輪級(jí)數(shù)多級(jí)泵
    葉片式泵吸入方式單吸泵葉片式泵葉輪形式半開式葉輪
    葉片式泵殼體型式節(jié)段式葉片式泵泵軸位置立式泵
    結(jié)構(gòu)類型咨詢顏色其他

    ? ? Edwards愛德華STP-iXA 2206系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的性能,可將小型電源供給集成到機(jī)載控制器內(nèi)(成熟的STP-iXA2205系列的新技術(shù))。該泵的高度等于STP-A2203C的高度,也等于STP-iXA2205系列(不帶其電源供給(iPS-1200))的高度。這一完全集成的產(chǎn)品易于安裝且占地面積小,可作為所有應(yīng)用工具的一體化解決方案。

    用途

    · 金屬(鋁)、鎢和電介質(zhì)(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)

    · 電子回旋共振(ECR)刻蝕

    · 薄膜沉積CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

    · 濺射

    · 離子注入源,射束線泵送和站

    功能與優(yōu)勢(shì)

    · 緊湊型設(shè)計(jì),包括完全集成的控制器

    · 創(chuàng)新性自傳感軸承系統(tǒng)

    · 數(shù)字化5軸控制

    · 與現(xiàn)有渦輪泵相比振動(dòng)級(jí)別降低了50%

    · 可以配置為運(yùn)行腐蝕性制程

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    廣州潽拓光電科技有限公司
    會(huì)員級(jí)別:試用會(huì)員
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