| 詳細(xì)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | Edwards | 型號(hào) | STP-iXA2206 |
| 輸送介質(zhì) | 水泵 | 驅(qū)動(dòng)方式 | 電動(dòng)泵 |
| 介質(zhì)溫度類型 | 高溫泵 | 材質(zhì) | 不銹鋼 |
| 最大出口壓力類型 | 咨詢 | 葉片式泵葉輪級(jí)數(shù) | 多級(jí)泵 |
| 葉片式泵吸入方式 | 單吸泵 | 葉片式泵葉輪形式 | 半開(kāi)式葉輪 |
| 葉片式泵殼體型式 | 節(jié)段式 | 葉片式泵泵軸位置 | 立式泵 |
| 結(jié)構(gòu)類型 | 咨詢 | 顏色 | 其他 |
Edwards愛(ài)德華STP-iXA 2206系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的性能，可將小型電源供給集成到機(jī)載控制器內(nèi)（成熟的STP-iXA2205系列的新技術(shù)）。該泵的高度等于STP-A2203C的高度，也等于STP-iXA2205系列（不帶其電源供給(iPS-1200)）的高度。這一完全集成的產(chǎn)品易于安裝且占地面積小，可作為所有應(yīng)用工具的一體化解決方案。
用途
· 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
· 電子回旋共振(ECR)刻蝕
· 薄膜沉積CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
· 濺射
· 離子注入源，射束線泵送和站
功能與優(yōu)勢(shì)
· 緊湊型設(shè)計(jì)，包括完全集成的控制器
· 創(chuàng)新性自傳感軸承系統(tǒng)
· 數(shù)字化5軸控制
· 與現(xiàn)有渦輪泵相比振動(dòng)級(jí)別降低了50%
· 可以配置為運(yùn)行腐蝕性制程
