| 詳細參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | Leybold | 型號 | MAG2201iPL |
| 輸送介質(zhì) | 水泵 | 驅(qū)動方式 | 電動泵 |
| 介質(zhì)溫度類型 | 高溫泵 | 材質(zhì) | 不銹鋼 |
| 最大出口壓力類型 | 高壓泵(32MPa≤Pd＜100MPa) | 葉片式泵葉輪級數(shù) | 單級泵 |
| 葉片式泵吸入方式 | 單吸泵 | 葉片式泵葉輪形式 | 半開式葉輪 |
| 葉片式泵殼體型式 | 節(jié)段式 | 葉片式泵泵軸位置 | 立式泵 |
| 結構類型 | 軸流式 | 顏色 | 其他 |
| 產(chǎn)地 | 德國 | ||
Leybold MAG 2201iPL德國萊寶磁懸浮分子泵可任意角度安裝，Leybold MAG 2201iPL磁懸浮分子泵耐腐蝕適用于所有半導體工藝，如蝕刻，CVD，PVD等，Oerlikon MAG 2201iPL 萊寶磁懸浮分子泵進氣法蘭口DN200 ISO-F，抽速可達到1600L/s，轉(zhuǎn)速為29400 rpm，Leybold MAG 2201iPL 對應的控制器為：Leybold MAG.DRIVE iM。
Leybold MAG 2201iPL 德國萊寶磁懸浮分子泵典型的應用：
蝕刻
空間模擬
CVD，PVD
半導體工藝
