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產(chǎn)品簡介
福潤德 微控?cái)U(kuò)散爐-廠家直銷-支持定制-全國可做
產(chǎn)品價(jià)格：￥1.00元/臺(tái)
上架日期：2024-09-02
發(fā)貨地：山東 青島市
供應(yīng)數(shù)量：不限
最少起訂：1臺(tái)
瀏覽量：62
詳細(xì)說明
    詳細(xì)參數(shù)
    品牌福潤德型號福潤德微控?cái)U(kuò)散爐
    密度其他熔點(diǎn)其他
    功率其他電壓其他
    等級其他產(chǎn)品認(rèn)證其他
    加工定制是是否進(jìn)口否
    顏色其他產(chǎn)地山東青島
    擴(kuò)散爐主要滿足半導(dǎo)體電力電子器件、大功率集成電路等行業(yè)，對所加工硅片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴(kuò)散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機(jī)微控方式或者程控方式操作。

    擴(kuò)散爐技術(shù)指標(biāo)：
    可處理硅片尺寸：2—12英寸
    外型形式：臥式1—4管結(jié)構(gòu)
    工作溫度：200℃—1300℃
    恒溫區(qū)長度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃
    單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性： ≤±1℃/24h
    溫度斜變： 可控升溫速率15℃／min
    可控降溫速率： 5℃／min
    送片裝置：全自動(dòng)懸臂推拉舟、拉桿式推拉舟
    氣路系統(tǒng)：1—5路工藝氣體／管
    氣體控制：全自動(dòng)MFC
    控制方式：工控機(jī)、觸摸屏

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    青島福潤德微電子設(shè)備有限公司
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