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產品簡介
廣州維修Edwards愛德華STP-iXA 2206真空渦輪分子泵
產品價格:¥8888.00元/臺
上架日期:2025-06-04
發(fā)貨地:廣東 廣州市
供應數量:不限
最少起訂:1臺
瀏覽量:109
詳細說明
    詳細參數
    品牌Edwards型號STP-iXA2206
    輸送介質水泵驅動方式電動泵
    介質溫度類型高溫泵材質不銹鋼
    最大出口壓力類型咨詢葉片式泵葉輪級數多級泵
    葉片式泵吸入方式單吸泵葉片式泵葉輪形式半開式葉輪
    葉片式泵殼體型式節(jié)段式葉片式泵泵軸位置立式泵
    結構類型咨詢顏色其他

        Edwards愛德華STP-iXA 2206系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內領先的性能,可將小型電源供給集成到機載控制器內(成熟的STP-iXA2205系列的新技術)。該泵的高度等于STP-A2203C的高度,也等于STP-iXA2205系列(不帶其電源供給(iPS-1200))的高度。這一完全集成的產品易于安裝且占地面積小,可作為所有應用工具的一體化解決方案。

    用途

    · 金屬(鋁)、鎢和電介質(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)

    · 電子回旋共振(ECR)刻蝕

    · 薄膜沉積CVD、PECVDECRCVD、MOCVD

    · 濺射

    · 離子注入源,射束線泵送和站

    功能與優(yōu)勢

    · 緊湊型設計,包括完全集成的控制器

    · 創(chuàng)新性自傳感軸承系統(tǒng)

    · 數字化5軸控制

    · 與現有渦輪泵相比振動級別降低了50%

    · 可以配置為運行腐蝕性制程

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    企業(yè)信息
    廣州潽拓光電科技有限公司
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