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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
高精密狹縫涂布系統(tǒng)
產(chǎn)品價(jià)格:¥面議元/
上架日期:2023-12-12
發(fā)貨地:北京 昌平區(qū)
供應(yīng)數(shù)量:不限
最少起訂:1
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詳細(xì)說(shuō)明
    詳細(xì)參數(shù)

    品牌:Rad

    可售賣(mài)地:全國(guó)




    nRad系列槽型芯片涂布機(jī)是基于nTact專(zhuān)利技術(shù)的小型、低成本但性能非常高的系統(tǒng),專(zhuān)為研發(fā)和預(yù)生產(chǎn)環(huán)境而設(shè)計(jì)。nRad 簡(jiǎn)單而靈活的設(shè)計(jì)可為各種應(yīng)用精確沉積各種材料。該系統(tǒng)有兩種尺寸:
    nRad – 具有用于加工150mm的標(biāo)準(zhǔn)配置,以及用于加工高達(dá)A4(210x300mm)以及6和8英寸晶圓的基板的選項(xiàng)。
    nRad2 – nRad的老大哥,具有用于加工300mm的標(biāo)準(zhǔn)配置,以及用于加工高達(dá)Gen2(370x470mm)的基板以及高達(dá)12英寸晶圓的選項(xiàng)。
    系統(tǒng)亮點(diǎn):
    ? 專(zhuān)利技術(shù)和專(zhuān)有設(shè)計(jì)在小型封裝中提供可靠的性能
    ? 能夠沉積從20nm到超過(guò)100?m的薄膜
    ? 工藝粘度范圍從低于1 cP到幾千cP/ mPa-s。
    ? 緊湊型系統(tǒng)與大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)手套箱和實(shí)驗(yàn)室臺(tái)面兼容
    ? 線性伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)的空氣軸承載物臺(tái)確保平穩(wěn)運(yùn)行和精確涂層
    ? 用戶(hù)友好型控制,帶有板載觸摸屏和基于PC的軟件
    ? 提供多種選項(xiàng),以擴(kuò)展工藝靈活性
    ? 極低的填充量,非常適合測(cè)試少量材料樣品
    ? 配方參數(shù)和工藝開(kāi)發(fā)均可轉(zhuǎn)移到nTact的大型生產(chǎn)系統(tǒng)中。


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