| 詳細參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | Edwards | 型號 | nXDS6i |
| 輸送介質(zhì) | 油泵 | 驅(qū)動方式 | 電動泵 |
| 介質(zhì)溫度類型 | 高溫泵 | 材質(zhì) | 鋁合金 |
| 最大出口壓力類型 | 其他 | 葉片式泵葉輪級數(shù) | 單級泵 |
| 葉片式泵吸入方式 | 單吸泵 | 葉片式泵葉輪形式 | 封閉式葉輪 |
| 葉片式泵殼體型式 | 其他 | 葉片式泵泵軸位置 | 臥式泵 |
| 結(jié)構(gòu)類型 | 其他 | 顏色 | 其他 |
EDWARDS的nXDS干式渦旋泵具備出色的抽氣能力、極限真空性能和先進的設(shè)計特性，性能居同類產(chǎn)品之首。nXDS泵在其他渦旋泵的基礎(chǔ)上進行優(yōu)化，提高了抽速，獲得了更高極限真空、更低功耗和噪聲。借助氣鎮(zhèn)功能可以對可冷凝蒸氣(包括水、溶劑、稀酸和堿)進行抽真空。nXDS泵還采用了優(yōu)化的端面密封技術(shù)，顯著延長了端面密封條更換的時間間隔。
特色與優(yōu)勢：
溫控風(fēng)扇
可以在低負載條件下降低風(fēng)扇轉(zhuǎn)速，從而使噪聲降至僅52 dB(A)。
軸承罩
可確保將制程氣體與軸承潤滑劑相分離，以確保清潔的真空環(huán)境，
并避免制程氣體中的污染物進入潤滑劑中，從而延長軸承的使用壽命。
變頻器驅(qū)動
全球范圍內(nèi)泵性能完全相同、易于控制、功耗降低和自動電壓調(diào)整特性，從而有助于打造卓越的用戶體驗。
優(yōu)化渦盤設(shè)計轉(zhuǎn)速提高， 極限真空比上一代提高一個數(shù)量級，極限壓力低至7 x 10-3 mbar。
優(yōu)化端面密封技術(shù)
使用壽命發(fā)生顯著變化，就大多數(shù)應(yīng)用而言，典型的端面密封條使用壽命達到2年以上。
高流量氣鎮(zhèn)特性
高達220 gh-1的速度抽取蒸氣(包括水蒸氣)。
