| 詳細(xì)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HARRICK | 型號(hào) | PDC-002-HP |
| 類(lèi)型 | 一體式 | 清洗介質(zhì) | 氣體 |
| 動(dòng)力 | 電 | 槽數(shù) | 1 |
| 用途 | 通用 | 加工定制 | 否 |
| 清洗溫度 | 25 | 頻率 | 13.56MHz |
| 容積 | 3L | 外形尺寸 | 530mm*430mm*600mm |
| 重量 | 14kg | 產(chǎn)地 | 美國(guó) |
美國(guó) Harrick PDC-002等離子清洗機(jī) 臺(tái)式清洗設(shè)備
基本參數(shù)：主要特征：臺(tái)式設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊精致低、中、高三檔可調(diào)節(jié)功率，最大可為45W設(shè)備輻射小，安全環(huán)保· 外形尺寸：11"H x 18"W x 9"D（279mm x 457mm x 228mm）· 重量：20.0kg· 輸入電源：220 V / 50Hz· 輸入功率：200 W· 常用工作氣體：空氣、氬氣、氮?dú)饣蚧旌蠚怏w等·
· 基本配置：直徑6英寸，長(zhǎng)6.5英寸的耐熱玻璃艙體。
含磁力鎖和可視窗的鉸鏈艙蓋。
最大為45W的RF線(xiàn)圈。
1/8英寸NPT針閥1/8英寸NPT三通閥·
選配件：石英等離子清洗艙石英托盤(pán)（用于放置樣品）
氣體計(jì)量混合器Plasma FloTM·
周邊設(shè)備：基本型專(zhuān)用真空泵（PDC-VPE-2）
可選件：· 選件一：氣體計(jì)量混合器PlasmaFloTM
功能及配置簡(jiǎn)介：
1、Harrick PlasmaFloTM氣體計(jì)量混合器是一臺(tái)可任選的以滿(mǎn)足客戶(hù)的不同需求的備件。主要應(yīng)用于樣品的表面改性。
2、在等離子清洗過(guò)程中氣體流混合和壓力監(jiān)視。
3、為向艙內(nèi)注入兩種氣體提供了可能。
4、含兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的氣體流量計(jì)(1.0 SCFH & 2.0 SCFH)
5、溫差電偶真空度表測(cè)量艙內(nèi)壓力
6、適用氣體：空氣、氮?dú)狻鍤饣蚧旌蠚怏w。
7、尺寸：8 1/2"H x 10"W x 8"D
8、訂貨號(hào)：PDC-FMG-2·
選件二：真空泵Harrick等離子清洗需要使用最小1.4 m3/hr (0.83 cfm)，壓力為200 mTorr (0.27 mbar)的真空泵。
PDC-VP-2 (220V)抽真空速度(50/60 Hz): 3.2/3.6 m3/hr
極限壓力(氣鎮(zhèn)關(guān))：1.5 mTorr
極限壓力(氣鎮(zhèn)開(kāi))：23 mTorr
電機(jī)功率：(50/60 Hz): 250/300 W
重量: 34 lbs
尺寸: 9"H x 15"W x 5"D