| 詳細參數 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HARRICK | 型號 | PDC-002-HP |
| 類型 | 一體式 | 清洗介質 | 氣體 |
| 動力 | 電 | 槽數 | 1 |
| 用途 | 通用 | 加工定制 | 否 |
| 清洗溫度 | 25 | 頻率 | 13.56MHz |
| 容積 | 3L | 外形尺寸 | 530mm*430mm*600mm |
| 重量 | 14kg | 產地 | 美國 |
美國 Harrick PDC-002等離子清洗機 臺式清洗設備
基本參數：主要特征：臺式設計，結構緊湊精致低、中、高三檔可調節(jié)功率，最大可為45W設備輻射小，安全環(huán)保· 外形尺寸：11"H x 18"W x 9"D（279mm x 457mm x 228mm）· 重量：20.0kg· 輸入電源：220 V / 50Hz· 輸入功率：200 W· 常用工作氣體：空氣、氬氣、氮氣或混合氣體等·
· 基本配置：直徑6英寸，長6.5英寸的耐熱玻璃艙體。
含磁力鎖和可視窗的鉸鏈艙蓋。
最大為45W的RF線圈。
1/8英寸NPT針閥1/8英寸NPT三通閥·
選配件：石英等離子清洗艙石英托盤（用于放置樣品）
氣體計量混合器Plasma FloTM·
周邊設備：基本型專用真空泵（PDC-VPE-2）
可選件：· 選件一：氣體計量混合器PlasmaFloTM
功能及配置簡介：
1、Harrick PlasmaFloTM氣體計量混合器是一臺可任選的以滿足客戶的不同需求的備件。主要應用于樣品的表面改性。
2、在等離子清洗過程中氣體流混合和壓力監(jiān)視。
3、為向艙內注入兩種氣體提供了可能。
4、含兩個標準的氣體流量計(1.0 SCFH & 2.0 SCFH)
5、溫差電偶真空度表測量艙內壓力
6、適用氣體：空氣、氮氣、氬氣或混合氣體。
7、尺寸：8 1/2"H x 10"W x 8"D
8、訂貨號：PDC-FMG-2·
選件二：真空泵Harrick等離子清洗需要使用最小1.4 m3/hr (0.83 cfm)，壓力為200 mTorr (0.27 mbar)的真空泵。
PDC-VP-2 (220V)抽真空速度(50/60 Hz): 3.2/3.6 m3/hr
極限壓力(氣鎮(zhèn)關)：1.5 mTorr
極限壓力(氣鎮(zhèn)開)：23 mTorr
電機功率：(50/60 Hz): 250/300 W
重量: 34 lbs
尺寸: 9"H x 15"W x 5"D
