| 詳細參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 其他 | 型號 | DIH-24i,DIH-48i,DIH-72i |
| 換熱方式 | 混合式 | 裝置方式 | 立式 |
| 水壓 | 高壓 | 加工定制 | 否 |
| 加熱器類型 | 空氣加熱器 | ||
半導(dǎo)體制造純水加熱器一種用于超純水的熱水供應(yīng)系統(tǒng)，非常適合用于沖洗液晶顯示器的硅晶片和玻璃基板的使用點。佰氟達-溫水器加熱用于在制造半導(dǎo)體和制造LCD的玻璃基板中沖洗硅晶片的純凈水。鹵素?zé)粞b在透明的雙壁高純度石英玻璃管中，確保對超純水進行高效且無污染的加熱。纖薄、緊湊的設(shè)計大限度地減少了使用點的安裝腳點。
半導(dǎo)體制造純水加熱器的特征：
1、清潔
供水流過的加熱容器和所有管道分別由高純度石英玻璃和碳氟聚合物制成。
2、緊湊
纖巧緊湊的裝置在使用點安裝所需的占地面積極小。
3、溫度控制
鹵素?zé)舻母吖β士焖偕邷囟炔⒏鶕?jù)水流量的變化進行調(diào)節(jié)
4、高效
效率超過 95%
5、安全通過顯示和聲音警報來防止異常情況，例如過熱、未充電加熱壓力過大和漏水，可提供操作安全性。
半導(dǎo)體制造純水加熱器的應(yīng)用：
1、加熱超純水沖洗硅片和LCD的玻璃基板;
2、使用純水加熱代替CFC進行清潔。
