| 詳細(xì)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 其他 | 型號(hào) | DIH-24i,DIH-48i,DIH-72i |
| 換熱方式 | 混合式 | 裝置方式 | 立式 |
| 水壓 | 高壓 | 加工定制 | 否 |
| 加熱器類型 | 空氣加熱器 | ||
半導(dǎo)體制造純水加熱器一種用于超純水的熱水供應(yīng)系統(tǒng)，非常適合用于沖洗液晶顯示器的硅晶片和玻璃基板的使用點(diǎn)。佰氟達(dá)-溫水器加熱用于在制造半導(dǎo)體和制造LCD的玻璃基板中沖洗硅晶片的純凈水。鹵素?zé)粞b在透明的雙壁高純度石英玻璃管中，確保對(duì)超純水進(jìn)行高效且無(wú)污染的加熱。纖薄、緊湊的設(shè)計(jì)大限度地減少了使用點(diǎn)的安裝腳點(diǎn)。
半導(dǎo)體制造純水加熱器的特征：
1、清潔
供水流過(guò)的加熱容器和所有管道分別由高純度石英玻璃和碳氟聚合物制成。
2、緊湊
纖巧緊湊的裝置在使用點(diǎn)安裝所需的占地面積極小。
3、溫度控制
鹵素?zé)舻母吖β士焖偕邷囟炔⒏鶕?jù)水流量的變化進(jìn)行調(diào)節(jié)
4、高效
效率超過(guò) 95%
5、安全通過(guò)顯示和聲音警報(bào)來(lái)防止異常情況，例如過(guò)熱、未充電加熱壓力過(guò)大和漏水，可提供操作安全性。
半導(dǎo)體制造純水加熱器的應(yīng)用：
1、加熱超純水沖洗硅片和LCD的玻璃基板;
2、使用純水加熱代替CFC進(jìn)行清潔。
