詳細(xì)參數(shù) |
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極限壓強(qiáng):10-7Pa
出氣法蘭:KF40
葉輪數(shù)目:多級
材質(zhì):不銹鋼
轉(zhuǎn)速:27500 rpm
重量:80KG
品牌:Edwards愛德華
型號:STP-iXA3305CPV
類型:半導(dǎo)體真空設(shè)備泵
進(jìn)氣法蘭:ISO250F\/VG250\/250CF\/ ISO320F\/VG300\/320CF
抽速:2650 L\/s \/2050 L\/s \/3200 L\/s \/2300 L\/s