| 詳細(xì)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | Edwards | 型號 | STP-iXA2206 |
| 輸送介質(zhì) | 水泵 | 驅(qū)動方式 | 電動泵 |
| 介質(zhì)溫度類型 | 高溫泵 | 材質(zhì) | 不銹鋼 |
| 最大出口壓力類型 | 咨詢 | 葉片式泵葉輪級數(shù) | 咨詢 |
| 葉片式泵吸入方式 | 咨詢 | 葉片式泵葉輪形式 | 咨詢 |
| 葉片式泵殼體型式 | 咨詢 | 葉片式泵泵軸位置 | 立式泵 |
| 結(jié)構(gòu)類型 | 咨詢 | 顏色 | 白色 |
?STP-iXA 2206SBV系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的性能，可將小型電源供給集成到機(jī)載控制器內(nèi)（成熟的STP-iXA2205系列的新技術(shù)）。該泵的高度等于STP-A2203C的高度，也等于STP-iXA2205系列（不帶其電源供給(iPS-1200)）的高度。這一完全集成的產(chǎn)品易于安裝且占地面積小，可作為所有應(yīng)用工具的一體化解決方案。?
用途?
·?金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）?
·?電子回旋共振(ECR)刻蝕?
·?薄膜沉積CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD?
·?濺射?
·?離子注入源，射束線泵送和站?
功能與優(yōu)勢?
·?緊湊型設(shè)計，包括完全集成的控制器?
·?創(chuàng)新性自傳感軸承系統(tǒng)?
·?數(shù)字化5軸控制?
·?與現(xiàn)有渦輪泵相比振動級別降低了50%?
·?可以配置為運(yùn)行腐蝕性制程?
