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    處理除塵設(shè)計
    由于部分廢氣含有少量甚至大量粉塵顆粒，而臭氧的無選擇性反應(yīng)在帶有粉塵的廢氣中的投加量過大（因為臭氧會同時和顆粒物反應(yīng)），所以在臭氧廢氣臭氣處理中，首要步驟是除塵。旋風(fēng)除塵器適用于凈化大于5~10微米的非粘性、非纖維的干燥粉塵；袋式除塵器很久以前就已廣泛應(yīng)用于各個工業(yè)部門中，用以捕集非粘結(jié)非纖維性的工業(yè)粉塵和揮發(fā)物，捕獲粉塵微粒可達0.1微米；電除塵器能夠鋪集0.01微米以上的細粒粉塵，等等。集氣反應(yīng)室的設(shè)計
    臭氧進氣端設(shè)計
    臭氧離子廢氣處理設(shè)備為了使反應(yīng)充分徹底，臭氧進氣與廢氣進氣處于相鄰位置，理想狀態(tài)是臭氧與廢氣相互對沖，徹底反應(yīng)。但是考慮到臭氧發(fā)生器出氣管道負(fù)壓的產(chǎn)生，臭氧進氣端方向應(yīng)與廢氣方向相同?；钚蕴吭O(shè)計
    當(dāng)臭氧完全和廢氣發(fā)生反應(yīng)，產(chǎn)生無二次污染物質(zhì)，理想狀態(tài)是無臭氧殘留，但是由于臭氧添加量把握精確度不高，所以往往會在理論值的基礎(chǔ)上增大添加量，有可能在廢氣完全被處理后，還有臭氧殘留。所以在處理后的氣體出口在接入活性炭BAC，不僅能夠吸附殘留的臭氧，還可以進一步凈化廢氣，減小臭氧添加量。
    快速性NOx是1971年通過實驗發(fā)現(xiàn)的。在碳氫化合物燃料濃度大的反應(yīng)區(qū)附近會快速生成NOx。由于燃料揮發(fā)物中碳氫化合物高溫分解生成的CH自由基可以和空氣中氮氣反應(yīng)生成HCN和N，再進一步與氧氣作用以極快的速度生成NOx，其形成時間只需要60ms，所生成的量與爐膛壓力0.5次方成正比,與溫度的關(guān)系不大。這種反應(yīng)主要發(fā)生在內(nèi)燃機的燃燒過程中；對燃煤鍋爐，其生成量很小。
    在催化劑（如V2O5/TiO2和V2O5-WO3/TiO2）作用下，還原劑NH3在290-400℃下將NO和NO2還原成N2，而幾乎不發(fā)生NH3的氧化反應(yīng)，從而提高了N2的選擇性，減少了NH3的消耗。