詳細(xì)參數(shù) | |||
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品牌 | 哈默納科 | 型號 | SHF-40-80-2UH |
類型 | 諧波減速器 | 載荷狀態(tài) | 強沖擊載荷 |
傳動比級數(shù) | 雙級 | 軸的相對位置 | 臥式減速器 |
傳動布置形式 | 擺線式 | 加工定制 | 是 |
樣品或現(xiàn)貨 | 樣品 | 齒面硬度 | 硬齒面 |
布局形式 | 三環(huán)式 | 用途 | 減速機 |
輸入轉(zhuǎn)速 | 1450rpm | 額定功率 | 15kw |
輸出轉(zhuǎn)速范圍 | 111rpm | 許用扭矩 | 1782N.m |
使用范圍 | 化工 | 減速比 | 543 |
產(chǎn)地 | 日本 |
,只是離心的徹體力效果,使光阻穩(wěn)定地、且是呈同心圓狀地向外涂布。日本HD深刻模造術(shù)諧波SHF-40-80-2UH? 根據(jù)實際使用顯示,GYRSET?只需一般涂布機的55%光阻用量。另外,其也可應(yīng)用于厚光阻之涂布(厚度自數(shù)微米至數(shù)百微米不等)。受涂基板也可由晶圓改為任意的工作外型,而不會造成邊緣一大部日本HD深刻模造術(shù)諧波SHF-40-80-2UH?份面積厚度不均的花花外貌。
[注]厚光阻是新近發(fā)展出來,供微機電研究使用的材料,如IBM的SU-8系列光阻,厚度由數(shù)微米至100微米不等,以GYRSET?涂布后,經(jīng)過嚴(yán)格的烘干程序,再以紫外線或準(zhǔn)分子雷射(excimerlaser)進行曝光顯影日本HD深刻模造術(shù)諧波SHF-40-80-2UH?后,所得到較深遂的凹狀圖案,可供進一步精密電鑄(electro-bing)的金屬微結(jié)構(gòu)成長填塞。這種加工程序又稱為「仿LIGA」制程(poormansLIGA),即「異步X光之深刻模造術(shù)」。