金剛石提純設備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT質(zhì)量流量控制器性能
- 可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（參見零件編號標簽）
- 可調(diào)比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）
- 校準精度（NIST可溯源）：±（1.5%讀數(shù)+0.5%滿量程）
- 可重復性：0.5%滿量程
- 標準控制器響應時間常數(shù)：100ms（可利用PID調(diào)節(jié)功能調(diào)節(jié)）
- 預熱時間：70ms，達到完整精度
