性能
- 可用量程：0-5000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，參見零件編號標(biāo)簽）
- 可調(diào)比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）
- 標(biāo)準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
- 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
- 可重復(fù)性：0.2%滿量程
- 標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器響應(yīng)時間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
- 無需預(yù)熱時間