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美國(guó)ALICAT MCQ高壓氣體質(zhì)量流量控制器  ALICAT MC質(zhì)量流量控制器NIST可溯源校準(zhǔn)證書性能

• 可用量程：0-5000 slpm；最小0-10 sccm（欲了解常備量程，請(qǐng)參見(jiàn)零件編號(hào)標(biāo)簽）
• 可調(diào)比：50:1
• 校準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±2%滿量程
• 可重復(fù)性：0.2%滿量程
• 標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：50-100ms
• 無(wú)需預(yù)熱時(shí)間

美國(guó)ALICAT MCQ高壓氣體質(zhì)量流量控制器  ALICAT MC質(zhì)量流量控制器NIST可溯源校準(zhǔn)證書工作條件

• 兼容氣體：98（MC系列）或130（MCS系列）種預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
• 工作溫度：-10°C至+60°C
• 內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：305 psig（320 psia）
• 耐受壓力：400 psig（415 psia）
• STP/NTP：用戶可選（默認(rèn)為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

美國(guó)ALICAT MCQ高壓氣體質(zhì)量流量控制器  ALICAT MC質(zhì)量流量控制器NIST可溯源校準(zhǔn)證書包裝清單

• MCQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購(gòu)）
• NIST可溯源校準(zhǔn)證書
• 艾里卡特操作說(shuō)明書

配件（需另行訂購(gòu)）

• 過(guò)程端口接頭和過(guò)濾器
• 電源
• 通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
• BB3和BB9多點(diǎn)式集線盒
• Flow Vision軟件