| 品牌KOFLOC | 型號3660 |
| 類型質(zhì)量流量控制器 | 測量范圍0-100m3/h |
| 精度等級0.01 | 適用介質(zhì)氣體&液體 |
| 詳細參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | KOFLOC | 型號 | 3665 |
| 原理 | 質(zhì)量流量計 | 用途 | 微小流量流量計 |
| 工作壓力 | 0-5MPA | 適用介質(zhì) | 氣體或者液體 |
| 工作溫度 | 0-50 | 測量范圍 | 0-1000SLM |
| 精度等級 | 1% | 測量精度 | 1% |
| 安裝形式 | 參考說明 | 加工定制 | 是 |
| 外形尺寸 | 是 | ||
| 品牌KOFLOC | 型號3660 |
| 類型質(zhì)量流量控制器 | 測量范圍0-100m3/h |
| 精度等級0.01 | 適用介質(zhì)氣體&液體 |
展開
日本小島KOFLOC 3665質(zhì)量流量控制器現(xiàn)貨
3665系列設計***，成本較低。***用于各個不同的領域
從實驗室和研究開發(fā)項目 到各種儀器設備的標準采用機種
發(fā)揮了很好的實際效果，另外還有有各種衍生功能可選
真空鍍膜 晶圓測試KOFLOC-3660系列質(zhì)量流量控制器 KOFLOC中國性能參數(shù)
| 產(chǎn)品詳情 |
3660 |
3665 |
|
量程(N2) |
10SCCM-20SLPM |
30-150SLPM |
|
精度 |
±1.0%FS |
±1.5%FS |
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有效范圍 |
2-*** |
5-*** |
|
重復性 |
±0.5%FS |
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響應時間 |
2秒 |
3秒 |
|
動作壓差 |
50-300Kpa |
150-300Kpa |
|
另有低壓差、高壓差產(chǎn)品可選 |
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耐壓 |
1.0Mpa |
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泄漏率 |
1*10-8pa·m?/s以下 |
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溫度范圍 |
5-45℃ |
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濕度范圍 |
10-90%RH(不能結(jié)露) |
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材質(zhì) |
本體SUS316、SUS316L、磁性材料等 |
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密封圈VITON，選配NBR或FKM |
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電氣接口 |
DB9 |
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模擬信號 |
0-5V輸入/輸出 |
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供電 |
+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)250mA； |
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管路連接 |
標配1/4F9 |
標配3/8F9 |
|
選配1/8F9、1/4UJR、RC1/4 |
選配1/2F9、3/8UJR、RC3/8 |
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重量 |
約1000g |
約1500g |
真空鍍膜 晶圓測試KOFLOC-3660系列質(zhì)量流量控制器 KOFLOC中國電氣連接
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針腳/顏色 |
定義 |
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1針腳/棕色 |
閥門全開/全閉 |
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2針腳/白色 |
0-5V輸出 |
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3針腳/紅色 |
+15VDC |
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4針腳/黑色 |
電源COM |
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5針腳/黃色 |
-15VDC |
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6針腳/灰色 |
0-5V輸入 |
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7針腳/綠色 |
輸出COM |
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8針腳/蘭色 |
輸入COM |
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9針腳/紫色 |
閥門電源輸出 |
日本小島KOFLOC 3665質(zhì)量流量控制器現(xiàn)貨
一：進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質(zhì)粉塵不超過20微米》。
二：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。
三：在使用質(zhì)量流量控制器的時候，進口前方加“ON/OFF電磁閥或手動切斷閥”。
四：安裝前，請將設備管路進行整體吹掃。
五：通氣體時，請先開氣源，后設定值。
六：切勿在沒有通氣的情況下，對流量控制器進行設定a。
七：使用完以后，請將流量控制器值歸零或斷電。
八：需要進行零點漂移清零的時候，確認進/出口沒流量沒壓力下、設定值是0的狀態(tài) 再操作。
