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其工藝的主要措施是高溫固溶和循環(huán)細(xì)化。高溫固溶可以改善碳化物的形態(tài)和粒度；循環(huán)細(xì)化的目的在于使奧氏體晶粒超細(xì)化。真空熱處理與普通熱處理相比有許多突出的特點(diǎn)，如可防止表面氧化、脫碳；淬火變形??；工藝的穩(wěn)定性、重復(fù)性好；操作安全、自動(dòng)化程度高、工作環(huán)境好等。隨著要求越來越高，模具零件的真空熱處理受到越來越多的關(guān)注。首先被檢測(cè)的數(shù)據(jù)是水或蒸汽的流動(dòng)速度，即在自然循環(huán)冷卻狀態(tài)下，在銅冷卻壁與蒸汽冷卻組合下，水或蒸汽的流動(dòng)速度。
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