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產(chǎn)品簡介
哈默納科涂布機(jī)諧波齒輪SHF-40-80-2UH
產(chǎn)品價格:¥23456.00元/臺
上架日期:2024-04-16
發(fā)貨地:上海 嘉定區(qū)
供應(yīng)數(shù)量:不限
最少起訂:1臺
瀏覽量:2449
詳細(xì)說明
    詳細(xì)參數(shù)
    品牌HarmonicDrive型號SHF-40-80-2UH
    類型諧波減速器載荷狀態(tài)強(qiáng)沖擊載荷
    傳動比級數(shù)單級軸的相對位置臥式減速器
    傳動布置形式擺線式加工定制
    樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度軟齒面
    布局形式三環(huán)式用途減速機(jī)
    輸入轉(zhuǎn)速3000rpm額定功率360kw
    輸出轉(zhuǎn)速范圍50rpm許用扭矩691N.m
    使用范圍化工減速比98
    產(chǎn)地日本

    是真正涂布粘著在晶圓上之?dāng)?shù)十甚至數(shù)百倍,極其可惜;哈默納科涂布機(jī)諧波齒輪SHF-40-80-2UH因為甩到晶圓外的光阻中有機(jī)溶劑迅速揮發(fā)逸散,成份大變,不能回收再使用。

    5、厚光阻

    德國Karl-Suss公司開發(fā)了一種新型的光阻涂布機(jī),哈默納科涂布機(jī)諧波齒輪SHF-40-80-2UH稱為GYRSET??,其賣點在于強(qiáng)調(diào)可減少一半的光阻用量,且得出更均厚的光阻分布。其原理極為單純:只是在真空轉(zhuǎn)臺上加裝了跟著同步旋轉(zhuǎn)的蓋子。如此一來,等于強(qiáng)迫晶圓與蓋子之間的空氣跟著旋轉(zhuǎn),那么光阻上便無高轉(zhuǎn)速差哈默納科涂布機(jī)諧波齒輪SHF-40-80-2UH的粘性旋轉(zhuǎn)拖曳作用。故光阻在被涂布時,其與周遭流體之相對運(yùn)動并不明顯

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