| 詳細參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型號 | SHF-40-80-2UH |
| 類型 | 諧波減速器 | 載荷狀態(tài) | 強沖擊載荷 |
| 傳動比級數(shù) | 單級 | 軸的相對位置 | 臥式減速器 |
| 傳動布置形式 | 擺線式 | 加工定制 | 否 |
| 樣品或現(xiàn)貨 | 現(xiàn)貨 | 齒面硬度 | 軟齒面 |
| 布局形式 | 三環(huán)式 | 用途 | 減速機 |
| 輸入轉(zhuǎn)速 | 3000rpm | 額定功率 | 360kw |
| 輸出轉(zhuǎn)速范圍 | 50rpm | 許用扭矩 | 691N.m |
| 使用范圍 | 化工 | 減速比 | 98 |
| 產(chǎn)地 | 日本 | ||
是真正涂布粘著在晶圓上之數(shù)十甚至數(shù)百倍，極其可惜；哈默納科涂布機諧波齒輪SHF-40-80-2UH因為甩到晶圓外的光阻中有機溶劑迅速揮發(fā)逸散，成份大變，不能回收再使用。
5、厚光阻
德國Karl-Suss公司開發(fā)了一種新型的光阻涂布機，哈默納科涂布機諧波齒輪SHF-40-80-2UH稱為GYRSET??，其賣點在于強調(diào)可減少一半的光阻用量，且得出更均厚的光阻分布。其原理極為單純：只是在真空轉(zhuǎn)臺上加裝了跟著同步旋轉(zhuǎn)的蓋子。如此一來，等于強迫晶圓與蓋子之間的空氣跟著旋轉(zhuǎn)，那么光阻上便無高轉(zhuǎn)速差哈默納科涂布機諧波齒輪SHF-40-80-2UH的粘性旋轉(zhuǎn)拖曳作用。故光阻在被涂布時，其與周遭流體之相對運動并不明顯
