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PI高負載物鏡掃描儀P-726 PIFOC

用于重型物鏡的具有長行程的高動態(tài)掃描系統(tǒng)
用于大型物鏡的高動態(tài)定位和掃描
諧振頻率 1120 Hz；560 Hz，210 g 物鏡質(zhì)量
典型。步進和穩(wěn)定約 6 ms
行程范圍 100 μm
采用直接測量電容傳感器，具有的線性度、穩(wěn)定性和控制動態(tài)
分辨率 0.3 納米
零間隙、高精度撓性導(dǎo)軌系統(tǒng)，對焦穩(wěn)定性更好

應(yīng)用領(lǐng)域
超分辨率顯微鏡
光碟顯微鏡
共聚焦顯微鏡
3-D 成像
篩選
干涉測量
測量技術(shù)
自動對焦系統(tǒng)
生物技術(shù)
半導(dǎo)體測試

電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，無需接觸。它們保證了出色的運動線性度、長期穩(wěn)定性和 kHz 范圍內(nèi)的帶寬。

自動配置和快速組件更換
機械裝置和控制器可根據(jù)需要組合并快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機械裝置的 D-sub 連接器的 ID 芯片中。每次打開控制器時，數(shù)字控制器的自動校準功能都會使用此數(shù)據(jù)。

PICMA ®壓電執(zhí)行器具有出色的使用壽命
獲得專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這可以保護它們免受因漏電流增加而導(dǎo)致的潮濕和故障。PICMA® 執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍。證明了 1000 億次循環(huán)而沒有一次故障。

零間隙撓性導(dǎo)軌帶來高導(dǎo)向精度
撓性導(dǎo)軌無需維護、摩擦和磨損，也不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且它們對沖擊和振動不敏感。它們是 真空兼容的，可在很寬的溫度范圍內(nèi)工作。

直接位置測量帶來的精度
運動在運動平臺上直接測量，不受驅(qū)動或?qū)蛟娜魏斡绊?。這可以實現(xiàn)的可重復(fù)性、出色的穩(wěn)定性以及剛性、快速響應(yīng)的控制。

PI高負載物鏡掃描儀P-726 PIFOC