PI 高精度線性平臺N-565具有亞納米編碼器分辨率
具有亞納米編碼器分辨率的 NEXACT ®壓電步進(jìn)驅(qū)動器
超精密：3 nm 小增量運(yùn)動和 0.5 nm 分辨率的直接測量 PIOne 編碼器
長行程：13 mm、26 mm 或 52 mm
關(guān)閉時(shí)自鎖：節(jié)省能源并減少熱量的產(chǎn)生
由于 PiezoWalk® 技術(shù)，使用壽命長且可靠性高
緊湊型設(shè)計(jì)：65 毫米寬，20 毫米高
NEXACT ®參考級線性平臺
帶有 NEXACT® PiezoWalk® 驅(qū)動器的線性平臺可在長行程范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)納米范圍內(nèi)的高精度定位。它們配備了直接測量線性編碼器和交叉滾子軸承，以實(shí)現(xiàn)精度。
使用 PIOne 線性編碼器進(jìn)行直接位置測量
高分辨率 PIOne 編碼器由 PI 開發(fā)，通過對測量值進(jìn)行相應(yīng)處理，可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)小于 1 納米的位置分辨率。此外，由于信號周期短、信號質(zhì)量高，PIOne編碼器的線性誤差小于1%。PIOne 編碼器在評估參考信號時(shí)支持方向感應(yīng)。
PiezoWalk ®技術(shù)：高分辨率和低磨損
PiezoWalk® 技術(shù)結(jié)合了壓電執(zhí)行器和壓電馬達(dá)的技術(shù)優(yōu)勢。PiezoWalk® 行走驅(qū)動器不僅提供亞納米級分辨率、高力和高剛度，而且在理論上允許無限的行程范圍。與其他壓電驅(qū)動原理相比，PiezoWalk® 行走驅(qū)動器不受滑動摩擦影響。它們基于沿流道步進(jìn)的多個(gè)壓電執(zhí)行器的靜摩擦接觸。靜止時(shí)，PiezoWalk® 行走驅(qū)動器是自鎖的，不消耗能量，也不產(chǎn)生熱量。
應(yīng)用領(lǐng)域
樣品操作、樣品定位、高精度和穩(wěn)定性的光學(xué)或機(jī)械部件、半導(dǎo)體工業(yè)中的精密機(jī)械、顯微操作、顯微鏡、自動化、有限空間中的應(yīng)用、非磁性環(huán)境中的應(yīng)用。
PI 精度線性平臺N-565具有亞納米編碼器分辨率
