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PI 直線執(zhí)行器和平臺P-753 LISA系列詳情

應(yīng)用領(lǐng)域
掃描顯微鏡
測量技術(shù)
測試程序和質(zhì)量保證
光子學(xué)
光纖定位
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，無需接觸。它們保證了出色的運動線性度、長期穩(wěn)定性和 kHz 范圍內(nèi)的帶寬。

直接位置測量帶來的精度
運動在運動平臺上直接測量，不受驅(qū)動或?qū)蛟娜魏斡绊?。這可以實現(xiàn)的可重復(fù)性、出色的穩(wěn)定性以及剛性、快速響應(yīng)的控制。

PICMA ®直接驅(qū)動帶來更高的剛度和動力
采用 PICMA® 直接驅(qū)動的壓電納米定位器沒有機械平移。這允許在壓電驅(qū)動范圍內(nèi)實現(xiàn)快速響應(yīng)速度以及盡可能高的剛度和動態(tài)。

PICMA ®壓電執(zhí)行器具有出色的使用壽命
獲得專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這可以保護它們免受因漏電流增加而導(dǎo)致的潮濕和故障。PICMA® 執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍。證明了 1000 億次循環(huán)而沒有一次故障。

零間隙撓性導(dǎo)軌帶來高導(dǎo)向精度
撓性導(dǎo)軌無需維護、摩擦和磨損，也不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且它們對沖擊和振動不敏感。它們是 真空兼容的，可在很寬的溫度范圍內(nèi)工作。

適用于復(fù)雜的真空應(yīng)用
壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。操作不需要潤滑劑或油脂。不含聚合物的壓電系統(tǒng)允許特別低的釋氣率。

動態(tài)穩(wěn)定的位置
導(dǎo)向平臺和執(zhí)行器同時進行
行程范圍達 38 μm
分辨率 0.1 納米
提供非磁性版本
由于直接驅(qū)動，響應(yīng)速度特別快
電容式傳感器帶來的線性度

PI 直線執(zhí)行器和平臺P-753 LISA系列詳情