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PI 壓電掃描儀P-313 PicoCube XY(Z) 系列

皮米精度，高帶寬，用于掃描探針顯微鏡
用于 AFM / SPM 的高線性掃描儀
高達(dá) 20 皮米的分辨率，滯后 <1 nm
閉環(huán)驅(qū)動(dòng)概念帶來帶寬
用于生物技術(shù)/納米技術(shù)的分辨率操作工具
諧振頻率 4.0 kHz (X, Y), 11 kHz (Z)
行程范圍 1 μm × 1 μm × 0.6 μm

PI 壓電掃描儀P-313 PicoCube XY(Z) 系列
應(yīng)用領(lǐng)域
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
掃描和篩選
由于平行運(yùn)動(dòng)學(xué)，高動(dòng)態(tài)多軸操作
在平行運(yùn)動(dòng)多軸系統(tǒng)中，所有執(zhí)行器都在一個(gè)公共平臺(tái)上運(yùn)行。小質(zhì)量慣性和所有軸的相同設(shè)計(jì)允許快速、動(dòng)態(tài)且精確的運(yùn)動(dòng)。

零間隙撓性導(dǎo)軌帶來高導(dǎo)向精度
撓性導(dǎo)軌無需維護(hù)、摩擦和磨損，也不需要潤(rùn)滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是 真空兼容的，可在很寬的溫度范圍內(nèi)工作。

PI 壓電掃描儀P-313 PicoCube XY(Z) 系列