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產(chǎn)品簡介
投影光刻機(jī) 光刻機(jī) 芯片光刻機(jī) 元器件光刻機(jī) 光刻膠測試
產(chǎn)品價格:¥18800.00元/臺
上架日期:2018-09-30
發(fā)貨地:河北 保定市
供應(yīng)數(shù)量:不限
最少起訂:1臺
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詳細(xì)說明
    詳細(xì)參數(shù)
    品牌華偉型號其他
    產(chǎn)品用途用于光刻膠測試,中小規(guī)模集成電路,半導(dǎo)體元器件產(chǎn)品別名實驗室光刻機(jī)光柵光刻機(jī)集成電路光刻機(jī)光刻設(shè)備
    適用行業(yè)用于光刻膠測試,中小規(guī)模集成電路,半導(dǎo)體元器件規(guī)格尺寸615,415,615mm
    產(chǎn)地河北保定市

    HWGK0133X-18紫外線光刻箱,配備電子電源,無級調(diào)光,主要用于光刻膠測試,中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、光電子器件、聲表面波器件、薄膜電路、電力電子器件的研制和小批量生產(chǎn)測試。無紫外線泄露,可以好的保護(hù)人體不受紫外線傷害的UV光刻箱,自動旋轉(zhuǎn)托盤,多角度平行光照射,無照射盲區(qū)。

    設(shè)備組成

    UV光源+光刻+自動轉(zhuǎn)盤+電源控制器

    采用模塊型設(shè)計

    采用模塊型設(shè)計,可手持、固定、箱式使用。

    UV燈頭

    包含一個長壽命的高壓汞燈,發(fā)射出UVA300-400nm),主光強(qiáng)度分布均勻。燈泡壽命為1000小時。

    UV光刻

    設(shè)備包含光刻箱,帶有箱門,開關(guān)方便,在元件的光刻過程中,能夠保護(hù)用戶免受紫外輻射。

    內(nèi)置遮光型手動快門(工作時無紫外線泄露)
    設(shè)備集成可伸縮遮光型手動快門,確保光刻的優(yōu)良重復(fù)性,保護(hù)用戶開關(guān)光刻箱門時免受紫外輻射。

    可調(diào)速自動旋轉(zhuǎn)托盤

    設(shè)備集成可調(diào)速自動旋轉(zhuǎn)托盤,光刻效果更好,更徹底

    無級變光(光強(qiáng)可調(diào))

    燈管發(fā)光強(qiáng)度可以40%~100%,無級調(diào)節(jié)燈光強(qiáng)度,特別適合科研和工業(yè)生產(chǎn)。

    反光內(nèi)壁

    光刻箱內(nèi)有反光的內(nèi)壁結(jié)構(gòu)以及優(yōu)化設(shè)計的反光鏡,可保證達(dá)到均勻照射效果。

    強(qiáng)制風(fēng)冷系統(tǒng)

    光源、電源、光刻箱都集成冷卻風(fēng)扇,使得系統(tǒng)在散熱良好的環(huán)境工作,增加了系統(tǒng)可靠性。

    類別

    數(shù)

    尺寸

    外型尺寸(L×W×H

    615×415×615mm

    光刻箱內(nèi)(L×W×H

    330×345×330mm

    燈管

    燈管名稱

    高壓汞燈

    功率

    450~1700W 無級調(diào)

    極限功率密度

    <250mw/cm2

    波峰值

    365nm

    曝光面積:

    ≥φ150mm

    旋轉(zhuǎn)托盤

    功率

    10W

    低速度

    1/分鐘

    高速度

    6/分鐘

    箱內(nèi)托盤

    360度旋轉(zhuǎn),速度可調(diào)

    電源

    電源需求

    220V

    整機(jī)功率

    1800W

    重量

    光刻箱體

    29KG

    電源箱

    4KG

    燈箱

    5KG

    總重量

    38KG

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