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◆工作溫度：300~1300℃?
??◆有效口徑根據(jù)用戶擴(kuò)散片確定，可訂制?
??◆恒溫區(qū)長度：1080mm（可根據(jù)用戶要求定制）?
??◆溫區(qū)精度（靜態(tài)閉管測試）：?
??600℃＜工作溫度＜1200℃：±0.5℃?
??300℃≤工作溫度≤600℃：±1℃?
??◆單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性（靜態(tài)閉管測試）：?
??600℃＜工作溫度＜1200℃：±0.5℃/24h?
??300℃≤工作溫度≤600℃：±1℃/24h?
??◆溫度斜變能力：?
??可控升溫速度（300～1300℃）：15℃/min?
??降溫速度（1300～900℃）：5℃/min?
??◆氣體流量設(shè)定精度：±2％FS?
??◆氣路系統(tǒng)氣密性：1×10-7PA.m3/s?
??◆自動送料裝置行程：~2000mm?
??速度：5~1000mm/min?
??SiC漿承重 19kg?
??◆裝片數(shù)量 400片/管?
??◆凈化臺潔凈度 100級（10000級廠房）?
??◆三相五線制 380V±10%，50Hz±10%Hz；?
??◆冷卻水：2～4Kgf/cm2，～8L/min?