上述兩類傳感器工作原理為:當(dāng)指紋中的凸起部分置于傳感電容像素電極上時(shí),電容會(huì)有所增加,通過檢測(cè)增加的電容來進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。傳感器中的像素點(diǎn)為45平方微米,間隔為5微米,電容像素陣列的分辨率略高于5dpi。這類傳感器基于一種標(biāo)準(zhǔn)的單-多晶硅三層金屬CMOS工藝,并采用.5微米工藝進(jìn)行設(shè)計(jì)。金屬互連的第三層構(gòu)成電容像素層,由氮化鈦制成并覆蓋著一層氮化硅,厚度僅為7埃米。這種硬金屬電極與抗磨涂敷層組合形成的傳感器十分堅(jiān)實(shí)耐用,使用壽命可以達(dá)到很多年。
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