FMA3101ST FMA3304ST FMA3105ST流量計OMEGA歐米茄
FMA3100ST、FMA3200ST、FMA3300ST、FMA3400ST系列
不銹鋼質(zhì)量流量計和控制器
適用于清潔、干燥的氣體
不銹鋼結(jié)構(gòu)
可帶或不帶集成顯示器
范圍從 20 SCCM 到 500 SLM 滿量程
FMA3100/3300ST 系列幾乎可以測量低至 0.4 至 20 SCCM 或高達(dá) 10 至 500 SLPM（包括氫氣）的任何清潔、干燥氣體的流速。通過利用熱質(zhì)量流量測量傳感器設(shè)計，可以獲得可重復(fù)的結(jié)果。這種經(jīng)過驗(yàn)證的設(shè)計限度地減少了零漂移，同時保持了快速響應(yīng)和線性輸出。壓縮管接頭提供快速的氣體連接，并與現(xiàn)有管道很好地集成。
FMA3200/3400ST 系列流量控制器可測量和控制幾乎任何清潔、干燥氣體的流速，低至 0.4 至 20 SCCM 或高達(dá) 0.2 至 10 LPM。FMA3200/3400ST 系列具有集成的 3 位數(shù)字顯示屏，用于直接在裝置上監(jiān)控流量。通過隨附的 1 m (3') 電纜進(jìn)行電氣連接。需要配套電纜 (FMA3000C) 或電源適配器。請參閱下面的附件。這些裝置可帶或不帶顯示器，適用于各種應(yīng)用。