KY 電容膜片真空計
CDG025D, CDG025D-S 0.1 ...1000 乇/毫巴
CDG025D-X3 0.1 ...1000 乇/毫巴
CDG045D 0.05 ...1000 乇/毫巴
CDG100D 0.1 ... 1000乇/毫巴
CDG160D, CDG200D 1 ... 1000 乇/毫巴
SKY 電容膜片真空計
CDG025D, CDG025D-S 0.1 ...1000 乇/毫巴
SKY 電容膜片真空計
CDG045D 0.05 ...1000 乇/毫巴
INFICON SKY CDG045D 真空計是用于高精度總壓強(qiáng)測量和控制的選擇.為實
現(xiàn)的訊號穩(wěn)定性和再現(xiàn)性, CDG045D 真空計是在 45°C 下溫度控制的. 可供應(yīng)
的真空計包括全量程范圍從 50 毫乇至 1000 乇, 具有全部常用的法蘭型號和現(xiàn)場
總線接口和提供線性 0 至 10 V, 與氣體類型無關(guān)的壓強(qiáng)訊號. INFICON 電容真空計
采用抗腐蝕的超純氧化鋁陶瓷膜片. 陶瓷傳感器的優(yōu)勢是更好的訊號穩(wěn)定性, 快速
地從大氣壓恢復(fù), 短的預(yù)熱時間和超長的使用壽命. INFICON CDG 是高質(zhì)量, 高效
益的壓強(qiáng)傳感器用于高要求的真空應(yīng)用 .
優(yōu)勢
擁有成本低, 預(yù)熱快 50%, 能效高, 低功耗
易集成,規(guī)格齊全的 全量程, 法蘭和接口 , 標(biāo)準(zhǔn)型號有
兩個設(shè)點
簡易的一鍵按鈕或運距訊號調(diào)零指令,零點偏移可調(diào)整
診斷口用于快速服務(wù)和維護(hù)
兩年保用期,帶有先進(jìn)的加熱概念和真空計保護(hù)的長
使用壽命
由于的訊號穩(wěn)定性和再現(xiàn)性, 即使在嚴(yán)酷的等離子
應(yīng)用中也無長期再校準(zhǔn)的需要
兼容性和標(biāo)準(zhǔn): CE, EN, UL, SEMI, RoHS
應(yīng)用
刻蝕, CVD, PVD 和其它半導(dǎo)體過程
化學(xué)和腐蝕性的真空過程
一般薄膜和真空過程
參考傳感器用于按國際標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)測測試儀器
傳遞標(biāo)準(zhǔn)用于可追蹤的測量