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KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 濺射沉積 NSN70 隔熱膜
發(fā)布者:bdqysh  發(fā)布時(shí)間:2021-01-18 14:44:40

西南某研究所在研究 NSN 隔熱膜試驗(yàn)中采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 作為濺射源濺射沉積 NSN70 隔熱膜并通過(guò)選擇合適的 AgCu 合金靶材NSN70隔熱膜的膜系設(shè)計(jì)與制備、樣品的形貌檢測(cè)、耐候性試驗(yàn)、光學(xué)性能測(cè)試等多方面進(jìn)行 NSN70 隔熱膜的研究.

 

伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 技術(shù)參數(shù):

型號(hào)

RFICP140

Discharge

RFICP 射頻

離子束流

>600 mA

離子動(dòng)能

100-1200 V

柵極直徑

14 cm Φ

離子束

聚焦平行散射

流量

5-30 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

長(zhǎng)度

24.6 cm

直徑

24.6 cm

中和器

LFN 2000

 

試驗(yàn)結(jié)論:

在柔性基材 PET 上沉積 AgCu 合金制備的 NSN 系列隔熱膜繼承了單 Ag 隔熱膜良好的光譜選擇性同時(shí)能有效的解決 Ag 易硫化的難題.

 

KRI 離子源的獨(dú)特功能實(shí)現(xiàn)了更好的性能增強(qiáng)的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性而這些特性在不使用 KRI 離子源技術(shù)的情況下是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的.

 

KRI 離子源是領(lǐng)域公認(rèn)已獲得許多專(zhuān)利. KRI 離子源已應(yīng)用于許多已成為行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的過(guò)程中.

 

伯東是德國(guó) Pfeiffer 真空泵檢漏儀質(zhì)譜儀真空計(jì)美國(guó) KRI 考夫曼離子源美國(guó)HVA 真空閥門(mén)美國(guó) inTEST 高低溫沖擊測(cè)試機(jī)美國(guó) Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的代理商.

 

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